Gebraucht RAMCO Ram 250 #9181898 zu verkaufen

RAMCO Ram 250
Hersteller
RAMCO
Modell
Ram 250
ID: 9181898
Wafergröße: 6"
Batch plasma system, 6".
RAMCO Ram 250 ist ein Ätzer und Ascher, der für industrielle und Forschungsanwendungen in Fertigungs- und Laborumgebungen entwickelt wurde. Es ist in der Lage, eine breite Palette von Ätz-, Asche- und Ablationsprozessen, so dass Benutzer die Kontrolle über den Ätz- und Ascheprozess. Der Stößel 250 verfügt über eine kapazitiv gekoppelte 12 „x 14“ -Kammer, die eine Verunreinigung durch externe Quellen minimieren und ein gleichmäßiges Ätzprofil bieten soll. Die Kammer ist mit einem Deckel aus Edelstahl und isolierten Wänden aus Legierungen aufgebaut und enthält einen einzigen Photomasken-Halter. Es kann bis zu 10 "-Wafer mit einer Reihe von Ätzchemien wie Ar, O2 und CHF3 verarbeiten. Das System arbeitet in einem Druckbereich von 0,2-2,0 Torr und ermöglicht sowohl Hochleistungs- als auch Hochselektivitätsätzungen in Nass- und Trockenätzchemie. Zusätzlich zu seinen Ätzfunktionen bietet RAMCO Ram 250 auch die Möglichkeit, die mit Photoresist beschichteten Schichten selektiv von einem Substrat zu entfernen. Es kann Substrate bis zu 10 „im Durchmesser und bis zu 4“ dick verarbeiten. Neben dem Aschen bietet das System auch Sputterreinigungs-, Depotätz- und Ätzverfahren. Ram 250 verfügt über mehrere Funktionen, die es für Forschungs- und Entwicklungsanwendungen geeignet machen, einschließlich seiner Zweifrequenz-HF-Netzteile, einstellbare Gasströme, digitale Auslesungen und integrierte Sicherheits- und Kalibrierungssteuerungen. Es bietet auch ein 6-Port-Drehventil für mehrere Prozesskammern, so dass mehrere Substrate gleichzeitig bearbeitet werden können. In Bezug auf die Sicherheit wurde RAMCO Ram 250 entwickelt, um die Anforderungen der Arbeitsschutzbehörde (OSHA) zu erfüllen und ist mit einem entlüftungsfreien System ausgestattet, um mögliche gefährliche Gaseinleitungen in das Labor zu beseitigen. Darüber hinaus sind EWG, UL und CSA zugelassen. Insgesamt ist Ram 250 ein vielseitiger Ätzer und Ascher, der sowohl Ätz- als auch Aschefunktionen in einer kompakten, einfach zu bedienenden Einheit bietet. Es ist für zuverlässige Leistung entwickelt und verfügt über mehrere Funktionen für Sicherheit und Effizienz. RAMCO Ram 250 ist eine ideale Wahl für Labore und Hersteller, die einen zuverlässigen und vielseitigen Ätzer und Ascher für vielfältige Ätz- und Ascheanwendungen suchen.
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