Gebraucht RAMCO RAM8500-II #293625752 zu verkaufen
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RAMCO RAM8500-II Asher/Etcher ist eine Hochleistungs-Plasmabearbeitungsanlage, die überlegene Leistung, beispiellose Flexibilität und überlegene Steuerbarkeit bietet. Diese Einheit bietet Ätz- und Aschefähigkeiten in Kombination mit einem neuen integrierten Steuerungssystem, das zusammen eine präzise Steuerung der Substratverarbeitung ermöglicht. Es ist in der Lage, präzise Ätz- und Aschefunktionen auf einer Reihe von dünnen Filmen und dicken Filmen durchzuführen. RAM8500-II nutzt einen verbesserten Plasmaquellen- und Verarbeitungsmodus, der eine hohe Gleichmäßigkeit von Ätz-, Reinigungs- und Aschevorgängen bewirkt. Die integrierte Steuereinheit und die Verarbeitungsparameter verbessern die allgemeine Konsistenz und Genauigkeit der Verarbeitung; Eine hochmoderne grafische Benutzeroberfläche ermöglicht es dem Bediener, Verarbeitungsparameter schnell und einfach einzugeben. Darüber hinaus kann die Einheit so programmiert werden, dass komplexe Ätz-, Asche- und Reinigungssequenzen automatisch ausgeführt werden. RAMCO RAM8500-II kann eine Vielzahl von Gasen im Ätz- oder Aschebetrieb betreiben. Für Ätz- und Ascheprozesse können RAM8500-II dünne Filme in verschiedenen korrosiven und oxidierenden Ätz- und Aschereaktionen (z.B. F2, O2, N2 und Ar) verarbeiten. Das Gerät ist auch in der Lage, Ätz-, Reinigungs- und Aschevorgänge mit inerten inerten Gasen (z.B. Ar, He und N2) durchzuführen. RAMCO RAM8500-II verfügt über eine breite Palette von Verarbeitungsfunktionen, so dass der Benutzer seinen Prozess basierend auf dem Substrat und den Anforderungen der Anwendung anpassen kann. Die integrierte Steuerungsmaschine und Prozessparameter ermöglichen es dem Anwender, die Plasmabearbeitungsparameter präzise zu steuern, was eine höhere Prozesssteuerung und Wiederholbarkeit ermöglicht. Die Einheit kann für eine breite Palette von Dünnschichtätzen und Aschevorgängen verwendet werden, wie zum Beispiel Isolierätzen, Isolieren von Flachgraben (STI) Ätzen, Strippen und Aschen widerstehen, sowie Mehrschichtmetall (MLM) Ätzen und Aschen. RAM8500-II Asher/Etcher bietet die höchste Messgenauigkeit und Kontrolle unter einer Reihe von Dünnschichtätz- und -veraschungssystemen. Mit seiner verbesserten Plasmaquelle und integrierter Software bietet es Anwendern eine präzise Kontrolle über den Ätz-/Ascheprozess und ermöglicht wiederholbare Ergebnisse mit hoher Genauigkeit und Wiederholbarkeit. Dadurch eignet sich RAMCO RAM8500-II gut für eine Vielzahl von Dünnschichtätzen und -veraschungen.
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