Gebraucht RUIMING HESL012 #9356202 zu verkaufen
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RUIMING HESL012 ist ein Ätzer/Ascher, der plasmaverbesserte chemische Dampfabscheidung (PECVD) Technologie verwendet. Dieses Gerät wurde entwickelt, um Oxidfolien, Polysiliziumfolien und andere Dünnschichtmaterialien für integrierte Schaltungsanwendungen herzustellen. Es hat eine Metallschale Fläche von 200mm × 200mm und eine Hochfrequenz-Stromquelle von bis zu 40KHz. Die Stromquelle kann auf maximal 1080W eingestellt und das Gassystem auf einen maximalen Durchfluss von 250 SCCM (Standard Kubikzentimeter pro Minute) eingestellt werden. Darüber hinaus ist es in der Lage, mehrere Prozessmodi wie Plasmaätzmodus, Ionenätzmodus, Ionendotiermodus und andere auszuführen. Der PECVD-Ätzprozess verwendet reaktives oder inertes Gas, um Plasma zu erzeugen, indem Hochfrequenzleistung auf Kammerebene angewendet wird. Das Gas wird ionisiert und seine chemischen und physikalischen Aktivitäten zerlegen die Bindungen zwischen dem Substrat und der Siliziumdioxidschicht zu einer gleichmäßigen und dichten Oxidbeschichtung. Zur Erzeugung einer ausreichenden Oxidschicht können mehrere Prozessparameter entsprechend den gewünschten Ergebnissen eingestellt werden. Dazu gehören Leistungspegel, Druck, Gasfluss usw., die eine präzise Steuerung der Foliendicke, Oberflächenrauhigkeit und andere Eigenschaften des Oxids ermöglichen. HESL012 Ätzer/Ascher hat auch Vakuumpumpe, Thermoelement und Temperaturkontrollfunktionen. Die Vakuumpumpe hilft bei der Evakuierung der Reaktionskammer und ermöglicht deren einwandfreie Funktion. Das Thermoelement misst die Oberflächentemperatur des Substrats, während die Temperatursteuereinheit die Temperatur innerhalb der Kammer anpasst, um das gewünschte Ergebnis zu halten. Dieser Ätzer/Ascher ist mit Wasserkühl- und Luftfiltersystemen ausgestattet, die helfen, die Temperatur der Maschine zu halten und eine sichere Arbeitsumgebung zu gewährleisten. Abschließend ist RUIMING HESL012 Ätzer/Ascher eine leistungsstarke und präzise Maschine mit fortschrittlicher PECVD-Technologie. Es übernimmt effektiv Ätz- und Glühaufgaben bei der Herstellung hochwertiger Oxidfolien und anderer Dünnschichtmaterialien für integrierte Schaltungen. Neben der effizienten Verarbeitung von Mikrostrukturen bietet es auch hervorragende Sicherheitsmerkmale.
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