Gebraucht SAMCO PC-1100 #293802272 zu verkaufen
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SAMCO PC-1100 ist eine Ätz- und Aschemaschine für fortschrittliche Mikroherstellungsprozesse in der Halbleiterindustrie. Seine fortschrittlichen Ätz- und Aschefähigkeiten, hohe Durchsatzraten, hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit sowie eine ausgeklügelte Steuerungsausrüstung machen es zu einer gewünschten Wahl für eine breite Palette von Geräteherstellungsprozessen. Herzstück dieser Maschine ist der patentierte Ätzkopf, der eine breite Palette von Ätz- und Aschetechnologien unterstützen kann, darunter chemische Dampfabscheidung (CVD), plasmaverbesserte chemische Dampfabscheidung (PECVD), Elektronenzyklotronresonanz (ECR), Magnetronsputtern und Nassätzen. Der Ätzkopf ist mit einer geeigneten Heizung zur Unterstützung des gleichmäßigen Ätzens und/oder Aschens ausgestattet. Der Aufbau und die Verwendung des Ätzkopfes in PC-1100 wird durch die vorgesehene 5-Achsen-Stufe, das Mikroskop mit Autofokus-Navigationssystem und bordseitige Drehmomentgeneratoren weiter erleichtert. Mit der Fähigkeit, Strukturen und Merkmale mit Abmessungen bis zu 50 nm zu ätzen, erleichtert SAMCO PC-1100 eine präzise Zielfertigung in minimaler Zeit. Der patentierte Easy Setup Wizard des Geräts sorgt für einfache und genaue Programmierung der Ätzparameter für ein Ziel, sodass Designer Gerätestrukturen schnell und einfach herstellen können. Die Maschine kann auch so programmiert werden, dass sie mit einer hohen Wiederholbarkeit geätzt wird, wodurch mehrere Ätzzyklen entfallen, um gewünschte Gerätecharakteristiken zu erreichen. PC-1100 verfügt außerdem über einen Mehrzonen-Temperaturregler zur Regelung sowohl der Substrat- als auch der Kammertemperatur während des Ätzvorgangs. Darüber hinaus bietet der Mehrzonenregler auch eine Feinabstimmbarkeit zur Steuerung der für High-End-Ätzanwendungen kritischen Ätzneigung. SAMCO PC-1100 unterstützt auch eine umfassende Reihe von Sicherheitsmerkmalen, einschließlich Hochdruckwassererkennungswerkzeug, Inertgaskontrollanlage, Kammerdrucküberwachungsmodell und eine Vakuumüberwachungsausrüstung, um die Sicherheit des Bedieners und den Schutz der Ausrüstung zu gewährleisten. Abschließend ist PC-1100 eine fortschrittliche Ätz- und Aschemaschine mit fortschrittlicher Technologie, die eine höhere Durchsatzrate, hohe Fertigungsgenauigkeit und Wiederholbarkeit bietet. Es bietet eine zuverlässige und einfache Möglichkeit, komplizierte und komplexe Bauelementstrukturen herzustellen, so dass es ideal für den Einsatz in anspruchsvollen Halbleiterbauelementanwendungen ist.
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