Gebraucht SAMCO PD-200D #9048862 zu verkaufen
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SAMCO PD-200D ist ein spezialisierter Ätzer/Ascher für qualitativ hochwertige Ätz- und Ascheanwendungen in der Halbleiter- und Elektronikfertigung. Dieses Modell ist eine Zweikammer-Benchtop-Ausrüstung, die sowohl mit Nass- als auch Trockenätz- und Ascheprozessen mit integrierten Liefer- und Prozessleitsystemen arbeitet. PD-200D System verfügt über eine geschlossene Ätzkammer für hochpräzises Ätzen und Aschen mit präziser Temperaturregelung und Prozessüberwachung. Es liefert hochwertige geätzte oder aschierte Oberflächen mit einem hohen Durchsatz mit überlegener Wiederholbarkeit und kann mit einer Vielzahl von Gasen und Chemikalien wie Sauerstoff, Argon, Schwefelhexafluorid, Ammoniumhydroxid und Salzsäure verwendet werden. Darüber hinaus verfügt das Gerät über eine fortschrittliche Prozessflusssteuerungstechnologie für eine optimale Aschleistung mit Prozessrezepten, die auf die spezifischen Bedürfnisse der Anwender zugeschnitten werden können. Mit einfach zu bedienenden Software- und Datenerfassungsfunktionen können Benutzer Rezepte speichern oder übertragen sowie Prozessparameter konfigurieren. SAMCO PD-200D umfasst auch die Gas- und Instrumentenvalidierung sowie die Prozessüberwachung und -aufzeichnung, um eine optimale Prozessleistung und -genauigkeit zu gewährleisten. In der Ätzkammer können Metall- und Keramiksubstrate im Vakuum bearbeitet werden, was ein hochpräzises Ätzen und Aschen kleiner oder schwer zugänglicher Bereiche ermöglicht. Die Ätzkammer verfügt über eine Lastverriegelung zur Minimierung von Gas- und Chemikalienverlusten und Strömungssteuerung mit Profilen, die auf die Bedürfnisse des Benutzers programmierbar sind. Der Druck wird mit einem Vakuummessgerät gesteuert und die Maschine ist mit einem Massenstromregler ausgestattet, um die Gasverteilung genau zu messen und zu steuern. Die Waschkammer ist mit einer PC-gesteuerten programmierbaren thermischen organischen Dampfquelle ausgestattet, die eine präzise und wiederholbare Asche auf empfindlichen Substraten ermöglicht. Die Kammer ist temperaturgeregelt, mit einem einstellbaren Bereich zwischen 0 ° C und 200 ° C. Insgesamt wurde PD-200D entwickelt, um die höchsten Standards für Qualitätsätzen und -veraschen mit präziser Prozesskontrolle, hoher Durchsatzrate und überlegener Wiederholbarkeit zu erfüllen.
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