Gebraucht SAMCO PD-200D #9155559 zu verkaufen
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ID: 9155559
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1996
Automated ion assisted PVCVD systems, 8"
Etching and deposition of Carbon films
DLC Deposition rate: 20-30um per hour
Anisotropic etch rate: 0.25u per min
Active substrate temperature control
Compound turbo main chamber
Auto chamber lift
Xinix 1014 Endpoint detector
Chemical series Osaka TG-713M 600 lps
(3) MFC Gas lines
Luxtron 712 Fluroptic thermometer
Sierra 5000 Gas leak detector
Techware TC-111 process controller
13.5 6MHz solid state generator
Iwatsu SG-4101 RF power pulse generator
Komatsu DR 621 Isothermal bath temperature controller
Luxtron 712 Fluoroptic thermometer
Luxtron 1015 End point controller
Mitsubishi NF-SF Pressure lugs for circuit breaker
Baratron type 622A, 627A and 628A capacitance manometers
Neslab RTE-111D Refrigerated bath / Circulator (Chiller)
5RK90GU-AMUL Electromagnetic brake motor
TKC REX-F900 Temperature controllers for source MFC and oven
Sentry 5000 Gas monitoring system
641PM-26P1-X Adaptive pressure controller
64244-PE52-X Control gate valve
Gases: Nitrogen (N), Argon (Ar), Oxygen (O2) for etching DLC films CF4
20-1000 Watts
Power: 10.8 KVA 3Φ 208V AC
4.6 KVA 1Φ 115V AC
1996 vintage.
SAMCO PD-200D Ätzer/Ascher ist eine zuverlässige und hochmoderne Massenfertigungsanlage, die sich gut für die Serienfertigung von Feinteilen eignet. Dieses System besteht aus einem leistungsstarken AMEC Roboterarm mit integriertem Ätzwerkzeug, einer mikroprozessorgesteuerten Säuredampferzeugungskammer und einer Hauptkörpereinheit mit eingebauten Sicherheitsmerkmalen. Der Roboterarm AMEC ist so konzipiert, dass alle Ätzprozesse, wie z.B. Wafer-Oberflächenkratzen, Schneidrillen, Löcher, Grate und fein abgestimmte Formen, genau und zuverlässig abgewickelt werden können. Seine Konstruktion sorgt dafür, dass Teile präzise auf die gewünschte Tiefe und Form geätzt werden, ohne dass Hinterschneidungen oder andere unerwünschte Effekte auftreten. Die hohe Wiederholgenauigkeit des Roboters sorgt dafür, dass das gleiche Teil in mehreren Durchläufen geätzt werden kann. Die mikroprozessorgesteuerte Ätzkammer verwendet einen schnell pumpenden, reinraumarmen Säuredampf, um ein wiederholt präzises Ätzen in Intervallen bis zu 0,2 µm zu gewährleisten. Die Kammer ist mit schneller Säurebefüllung für schnelle Neustarts und für ununterbrochene langfristige Produktionsläufe ausgelegt. Durch seine Konstruktion wird sichergestellt, dass der Säuredampf mit genau der richtigen Geschwindigkeit freigesetzt wird, wodurch ein Absinken des Dampfes des Bauteils sowie eine gefährliche Übersättigung verhindert wird. PD-200D ist mit Sicherheitsmerkmalen sowohl für den Bediener als auch für den Roboterarm ausgelegt. Die Haupteinheit ist ein komplettes, wassergekühltes Edelstahlgehäuse mit eingebauten Ionen- und Gasmanagementsystemen zum Schutz vor extremen Elementen und Verunreinigungen. Die beiliegende Steuereinheit weist ein elektrisches Sicherheitszertifikat auf und überwacht den Säuregehalt in der Ätzkammer kontinuierlich sicherheitshalber. Eine Vielzahl von Sicherheitssensoren sind auch enthalten, um Warnmelder bereitzustellen oder die Maschine für Wartung oder Bedienbedarf abzuschalten. Als vielseitiges, produktionsfähiges Ätzgerät/Ascher eignet sich SAMCO PD-200D Werkzeug gut für das hochvolumige Metallätzen und -veraschen. Das zuverlässige Design sorgt dafür, dass feinjustierte Teile mit Präzision, Wiederholbarkeit und Sicherheit hergestellt werden können.
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