Gebraucht SAMCO PD-270STA #9055166 zu verkaufen

SAMCO PD-270STA
Hersteller
SAMCO
Modell
PD-270STA
ID: 9055166
Weinlese: 2001
Sputtering system 2001 vintage.
SAMCO PD-270STA ist ein hochwertiger Ätzer/Ascher für mikroelektronische Fertigungsprozesse. Es ist ein hocheffizientes und zuverlässiges Werkzeug, das Plasmaätzen und reaktive Ionenätztechnologie kombiniert. PD-270STA verfügt über eine Vielzahl fortschrittlicher Funktionen zur Maximierung der Leistung, darunter eine multisegmentale Ausrüstung für optimierte Ätzparameter, ein hochpräzises Substratpositionierungssystem und eine integrierte Multi-Gas-Liefereinheit. Die multisegmentale Einheit von SAMCO PD-270STA erreicht eine verbesserte Ätzeffizienz und Gleichmäßigkeit, indem Benutzer optimierte Ätzparameter auf jeden Bereich der Ätzkammer einstellen können. Diese Maschine ermöglicht es Benutzern, Betriebszeit, Leistung, Gasdurchflussraten und andere Parameter für jedes Segment einzustellen und ein gleichmäßiges Ätzen des Substrats zu gewährleisten. Das hochgenaue Substrat-Positionierwerkzeug von PD-270STA sorgt für eine präzise Verarbeitung unterschiedlichster Substratmaterialien. Die Anlage ist in der Lage, 12-Bit-hochauflösende laterale und 10-Bit-vertikale Bewegung für die Handhabung einer Vielzahl von Substraten im Bereich von 0,008 Zoll bis 6 Zoll in der Größe. Die integrierte Mehrgasfördereinheit ist darauf ausgelegt, die Effizienz des Ätzprozesses durch eine präzise Mischung reaktiver Gase zu maximieren. Die Einheit sorgt für eine gleichmäßige Plasmaverteilung über das Substrat, um die Ätzgleichförmigkeit zu erhöhen. SAMCO PD-270STA kann sowohl bei hoher als auch bei niedriger Frequenz mit einer Plasmaleistung von bis zu 250 Watt und einer Ätzrate von bis zu 0,7 Mikrometer/Minute arbeiten. Die Vorrichtung eignet sich für den Einsatz in mikroelektronischen Produktionsprozessen wie Siliziumoxidätzen, Siliziumätzen, Metallätzen und anderen Verfahren. PD-270STA ist ein äußerst zuverlässiges und kostengünstiges Ätzmodell, das Zeit und Geld in der Mikroelektronik-Produktion spart. Seine erweiterten Funktionen machen es zu einem idealen Werkzeug für verschiedene Ätzprozesse und Anwendungen.
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