Gebraucht SAMCO RIE-10N #9014948 zu verkaufen

SAMCO RIE-10N ist ein Einkammer-Plasmaätzwerkzeug, das Reactive Ion Etching (RIE) zur ultrapräzisen Materialentfernung verwendet. Das Gerät zeichnet sich durch seine kompakte Standfläche und hohe Ätzraten aus und ist in der Lage, die meisten routinemäßigen Ätzanwendungen wie Photoresist Stripping, dielektrische Entfernung, isotropes Siliziumätzen und mehr zu verarbeiten. RIE-10N ist ausgestattet, um eine breite Palette von Substraten wie Silizium, Quarz, Aluminium und eine Vielzahl von Metallisierungsmaterialien zu handhaben. Das System ist hocheffizient konzipiert, so dass die Anwender ihren gewünschten Ätzprozess in weniger als der Hälfte der Zeit abschließen können, die von herkömmlichen Systemen benötigt wird. Es enthält auch eine einstufige Rezepterstellung für wiederholbare, konsistente Ergebnisse sowie eine intuitive grafische Benutzeroberfläche. Das Werkzeug weist eine Quellkammer, eine Pumpeinheit und eine Vielzahl von Gasfördersystemen zur Steuerung des Schutzgasstroms auf. Es enthält auch eine Ionenquelle zur Erzeugung von Plasma, einen Strahlbeschleuniger zur Kanalisierung der Ionen in die Kammer sowie eine Sputterquelle zur Vervollständigung des Ätzvorgangs. Die Maschine kann mit verschiedenen Plasmaätz- und Sputterprozessen konfiguriert werden, einschließlich induktiv gekoppeltem Plasma (ICP) und dielektrischem Ätzen. SAMCO RIE-10N bietet Anwendern erweiterte Funktionen wie die automatische Kalibrierung der Plasmaparameter, um eine wiederholbare Wiederholbarkeit zu erreichen. Es verfügt auch über eine Auto-Tune-Funktion, um Ausfallzeiten und Kosteneinsparungen zu erzielen und gleichzeitig das Risiko einer Kontamination durch zerstörerische Partikel zu minimieren. Weitere Merkmale sind ein Auto-Select-Programm zur Optimierung des reaktiven Ionenätzprozesses sowie eine doppelwandige Kammerkonstruktion für eine saubere Umgebung. RIE-10N ist mit einem hochpräzisen, bidirektionalen Antriebsmotor ausgestattet, der eine schnelle, präzise und wiederholbare Bewegung des Arbeitstisches ermöglicht, die Bandbreite minimiert und unbeabsichtigte Beschädigungen der Kammer reduziert. Es verwendet auch ein Hochleistungs-Gas-Lieferwerkzeug, um langfristige Stabilität und einheitliche Ergebnisse zu bieten. Das herausragende Merkmal von SAMCO RIE-10N ist die fortschrittliche Temperaturregelung, die sicherstellt, dass Ätzprozesse bei gleichbleibenden Temperaturen stattfinden, um eine hervorragende Prozesswiederholbarkeit zu erreichen. Dies ist besonders wichtig bei der Verarbeitung empfindlicher und anspruchsvoller Materialien wie Photoresist, Polyimide und organische Materialien. Insgesamt ist RIE-10N ein robustes und zuverlässiges Ätzwerkzeug, das zuverlässige und gleichmäßige Ätzergebnisse garantiert. Alle Funktionen arbeiten in Harmonie, um jedes Mal genaue und wiederholbare Prozessergebnisse zu gewährleisten, was es zu einer idealen Lösung für fortgeschrittene Ätzaufträge macht.