Gebraucht SAMCO RIE-10N #9354075 zu verkaufen

SAMCO RIE-10N ist ein Ätzer/Ascher von SAMCO, einem führenden japanischen Ausrüster auf dem Gebiet der Halbleiterbauelemente. Diese Maschine bietet einen robusten und zuverlässigen Ätz-/Ascheprozess, um komplexe Muster in einer Vielzahl von Substraten zu erzeugen. RIE-10N ist sowohl mit einer Reaktionskammer als auch mit einer Bearbeitungskammer zum gleichzeitigen Ätzen und Aschen von Wafer- und Substratoberflächen ausgestattet. Die Reaktionskammer wird getrennt von der Bearbeitungskammer erwärmt, so dass der Benutzer die Temperatur für einen Ätz- oder Ascheprozess genau steuern kann. Die enge Temperaturregelung der Reaktionskammer ist wichtig, um strategisch gestaltete Oberflächenmerkmale in Wafern und anderen Oberflächen zu schaffen. SAMCO RIE-10N ist in der Lage, Substrate bis zu einer Größe von 20 „x 20“ zu skalpieren und zu veraschen. In die Maschine ist eine induktiv gekoppelte Plasmaquelle (ICP) integriert, die ein gleichzeitiges Ätzen und Aschen ermöglicht. Diese Maßnahme ist von Vorteil, da sie die Bearbeitungszeit erheblich verkürzt und dem Anwender sehr enge Maßtoleranzen ermöglicht. RIE-10N ist auch mit einer großen Vakuumausrüstung mit einem Basisdruck von 1,3x10-5 Torr ausgestattet. Dies ermöglicht sehr hochwertige Plasmaätzergebnisse, wodurch die Maschine für viele verschiedene Ätz- und Ascheanwendungen geeignet ist. SAMCO RIE-10N verfügt über eine benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche (GUI), die einen effizienten Betrieb ermöglicht und eine präzise Steuerung von Parametern wie Gasdurchfluss, Temperatur, Druck und HF-Leistung ermöglicht. Die Maschine kann mit einem Vakuum- oder Vakuumsystem für die ultrafeine Verarbeitung jedes Substrats ausgestattet werden. Eine optionale Endpunkt-Erkennungseinheit ermöglicht es Benutzern, den Ätz- und Ascheprozess zu steuern und den Endpunkt des Prozesses schnell zu identifizieren. RIE-10N kommt auch mit fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen wie einer eingebauten Verriegelungsmaschine, die das Personal daran hindert, im Betrieb in die Verarbeitungskammer einzudringen, und einem Alarmwerkzeug, um die Benutzer im Notfall zu warnen. Alle diese Merkmale kombiniert machen SAMCO RIE-10N eine ausgezeichnete Wahl für die Herstellung von Halbleiterbauelementen.