Gebraucht SAMCO RIE-10N #9407762 zu verkaufen

SAMCO RIE-10N ist eine Ätz- und Aschemaschine, die hauptsächlich bei der Herstellung von Siliziumchips eingesetzt wird. Es kann schnell Photolack und andere Oberflächenverunreinigungen von Siliziumsubstraten entfernen. Das System ermöglicht eine präzise Steuerung von Parametern wie Ätzrate, Wafertemperatur, Druck, Gasdurchflussrate und Gasmischverhältnisse. Es wurde entwickelt, um den Bedarf an Produktion mit hohem Durchsatz zu decken und gleichzeitig wiederholbare, einheitliche Ätz- und Ascheergebnisse zu liefern. RIE-10N wurde entwickelt, um flexible Bedienung und einfache Wartung zu bieten. Die Konstruktion ist modular aufgebaut und ermöglicht einfachen Zugriff auf Komponenten und schnellen Austausch. Es wird mit Aluminiumrahmen, Feuchtigkeits- und Temperaturregelsystemen und perforierten Edelstahlschalen für einfache Wartung konstruiert. Zu den Merkmalen gehören ein Echtzeit-Ätzratenmonitor, eine Temperatur- und Drucksteuereinheit, eine mikroprozessorgesteuerte Gasstromsteuerungsmaschine und mikroprozessorgesteuerte Gasstrommischverhältnisse. SAMCO RIE-10N ist mit einem Drehtisch für die einfache Übertragung von Substraten in der Vakuumkammer ausgestattet. Mit seinem flexiblen Kassettenbeladewerkzeug können bis zu 10 Kassetten gleichzeitig beladen und zur Substratbearbeitung in den HF-Generator überführt werden. Es ist auch eine elektrische Leistungsregelung vorgesehen, und die Anlage kann einzelne Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 8 "verarbeiten. Der HF-Generator ist so konzipiert, dass er Präzision und Flexibilität in der Substratverarbeitung bietet und wiederholbare Ergebnisse liefert. RIE-10N hat die Fähigkeit, so ziemlich jedes Siliziumsubstrat zu verarbeiten, einschließlich stark dotierter Substrate und Substrate mit mehreren Schichtstrukturen. Es bietet ein präzises Ätzen beider Oberflächen sowie eine verbesserte Geräteisolierung, Ausbeute und Dielektrizitätsfestigkeit. Die einfach zu navigierende Benutzeroberfläche des Modells ermöglicht sowohl manuellen als auch automatisierten Betrieb sowie Multimodus-Betrieb. SAMCO RIE-10N bietet Sicherheit durch Lüfterkühlung, dichte Gasdichtungsventile, manipulationssichere Schalter und über Temperatur- oder Überdruckerkennungssysteme. Eingebaute Diagnosesysteme überwachen alle Parameter während des Betriebs und liefern Echtzeitdaten für mehr Genauigkeit und Präzision. RIE-10N ist das perfekte Werkzeug für Anwendungen wie MEMS-Herstellung, Mikroelektronik Ätzen und Aschen, Power Device Metallätzen und TEG-Prozessätzen (Thermische Glasexpansion).