Gebraucht SAMCO RIE-10NR #293656751 zu verkaufen

SAMCO RIE-10NR ist ein reaktiver Ionenätzer (RIE) und Ascher für Produktions- und Forschungsanwendungen. Aufbauend auf dem Erfolg von SAMCO vorheriges RIE10-TF Modell, SAMCO RIE 10 NR mehr als verdoppelt die Ätz- und Aschegeschwindigkeit bei vereinfachter Bedienung und Wartung. RIE-10NR hat eine Vakuumkammer mit einer maximalen Größe von 200 mm × 200 mm, so dass es ideal für eine Reihe von Probengrößen. Es ist mit zwei Hochfrequenzquellen ausgestattet, die bis zu 800 W Leistung zum Ätzen und zusätzlich 500 W zum Aschen erzeugen. Dies macht es für eine Reihe von Materialien geeignet, einschließlich Silizium und Metalle. Der Ätzprozess wird von Endpunkterkennung (Endpoint Detection) überwacht, einem KE, das das Ende der Ätzoperationen genau bestimmt. RIE 10 NR verfügt außerdem über eine automatische Strahlsteuerung, die den Ätzmittelfluss anpasst, die Kammerwände schrubbt und die Ätzgleichmäßigkeit verbessert. Das Ätzen wird mit einer nachfüllbaren, flüssigen SnCl2 Lösung erreicht, die eine Schmutzansammlung in der Kammer verhindert und die Temperatur des Systems aufrechterhält. Dies reduziert das Vorhandensein von Verunreinigungen und ermöglicht eine hohe Ätzselektivität und Gleichmäßigkeit. Die Kammer ist mit einem vorausschauenden optischen Viewport verbunden, der eine Überwachung des Ätzvorgangs ermöglicht und eine schnelle Kamerakontrolle der geätzten Proben ermöglicht. SAMCO RIE-10NR bietet zudem einen modularen Low-Profile-Aufbau, der Ventilstapel, Schrupppumpe und Controller unterhalb des optischen Viewports integriert. Dadurch entfällt die Notwendigkeit einer externen Verkabelung, was Zeit und Kosten bei der Wartung spart. Für fortgeschrittene Anwendungen kann SAMCO RIE 10 NR mit einer zusätzlichen Hochfrequenzquelle zur flachen Grabenisolierung ausgestattet werden. Darüber hinaus kann das System mit einer Reihe von Zubehörteilen wie einer Turbopumpe, einer Seitenblickkamera und einer Sputter-Ionen-Quelle für mehr Vielseitigkeit aufgerüstet werden. Zusammenfassend ist RIE-10NR ein leistungsfähiges und zuverlässiges System sowohl für die Produktion als auch für die Forschung. Seine Dual-RF-Quelle, Endpoint Detection und automatische Strahlsteuerung bieten die Genauigkeit und Präzision, die für fortschrittliche Prozesse erforderlich sind, während sein Low-Profile und modulares Design Kosten- und Zeiteinsparungen gegenüber anderen RIE-Systemen bietet.