Gebraucht SAMCO RIE-10NR #9083619 zu verkaufen

SAMCO RIE-10NR ist ein Einzelfrequenz, Hochfrequenz-Plasmaätzer/Ascher. Es verwendet den RIFE-Prozess (Radio Frequency Induction Excitation), der ein einzelnes hochfrequentes Funksignal verwendet, um ein induktiv gekoppeltes Plasma zu erzeugen. SAMCO RIE 10 NR hat einen Frequenzbereich von 13.56MHz für optimale Ätzleistung und kann verwendet werden, um eine Vielzahl von Substraten einschließlich Silizium, Glas, Metalle und Polymere zu ätzen. RIE-10NR verfügt über ein kompaktes Design mit dem HF-Generator, der Gasverteilereinheit und der HF-Stromzuführungseinheit, die alle in einer Einheit integriert sind. Dies ermöglicht ein hochpräzises Ätzen und eine genaue Steuerung des HF-Generators. Der Ätzer/Ascher verfügt zudem über eine leicht einstellbare Kammergröße, so dass Wafergrößen von 5-10 cm verarbeitet werden können. RIE 10 NR verwendet eine Reihe von Spulen für die Erzeugung des HF-Leistungsfeldes. Diese Spulen sind in einer Vollmetall-Edelstahlkammer eingeschlossen, um ein hochpräzises Ätzen und einen Schutz vor Kreuzkontamination und Verschleiß zu gewährleisten. SAMCO RIE-10NR verwendet ein direktes Gasfördersystem, um einen gleichmäßigen Gasfluss durch die Kammer zu gewährleisten. Dies ermöglicht eine präzise Steuerung der Prozessgase, um eine optimale Ätzrate zu erreichen. Der Prozessdruck kann durch Einstellung des Druckreglers gesteuert werden, was eine Gleichmäßigkeit der Ätztiefe und des Profils ermöglicht. SAMCO RIE 10 NR ermöglicht auch eine präzise Steuerung von Gasgemischen, was höhere Ätzraten und eine bessere Ätzprofildefinition ermöglicht. RIE-10NR liefert sehr hohe Genauigkeitsätzraten bei präziser Steuerung der Ätzparameter. Es verfügt auch über einen einzelnen Durchlauf Ätzprozess mit mehreren Rezepteinstellungen, so dass mehrere Ätzprozesse in einem einzigen Lauf. Der Ätzer verfügt über einen kurzen Zyklus von bis zu 5 Minuten und ermöglicht einen höheren Durchsatz bei erhöhter Qualitätskontrolle. Es verfügt auch über eine Temperatur- und Temperaturgleichförmigkeitsregelung sowie eine Roboterschnittstelle zur Präzisionskontrolle des Ätzprozesses. RIE 10 NR ist ein idealer Ätzer/Ascher für hochpräzise Ätzanwendungen mit hoher Genauigkeit und Wiederholbarkeit im Ätzprozess. Darüber hinaus sorgt der integrierte modulare Aufbau für einen geringen Wartungsaufwand und eine einfache Bedienung. Dieser Ätzer/Ascher bietet eine ideale Lösung für die Mikrobearbeitung, Oberflächenmodifizierung und andere Ätzanwendungen in den unterschiedlichsten Branchen.