Gebraucht SAMCO RIE-1C #293753913 zu verkaufen

SAMCO RIE-1C ist ein Ätzer oder Ascher, der in der Lage ist, qualitativ hochwertige geätzte Mikrostrukturen mit hoher Wiederholbarkeit zu produzieren, ideal für Mikroherstellungsanwendungen. Es ist ein Trockenätzsystem, das eine inerte Atmosphäre von Chlortrifluorid (ClF3) bei niedrigem Druck verwendet, kombiniert mit einer induktiv gekoppelten Hochfrequenzentladung (RF), um eine leistungsfähige elektrochemisch-mechanische Technik zur Entfernung von Materialien aus Zielsubstraten bereitzustellen. RIE-1C ist eine elektrisch isolierte, leitend verkleidete Edelstahlkammer von ca. 28,5 Zoll. × 20,5 Zoll. × 15,5 Zoll. in der Größe. Es ist mit einem Front-Mounted Computer Interface Control System eingerichtet und verfügt über eine eingebaute Vorkammer, um das Be- und Entladen von Proben zu erleichtern. Die Hauptkammer kann bis zu neun Probenhalter aufnehmen und das Prozessgas wird mit einem Ventil an der Hauptkammer gesteuert. Bestandteil des Verfahrens ist ein HF-Netzteil, das mit einer unabhängigen wassergekühlten HF-Spule innerhalb der Kammer gekoppelt ist. Dieses HF-Netzteil ermöglicht eine Leistung von 1 Watt bis 35 Watt, die das Plasma aktivieren kann und mit einem verlustarmen Koaxialkabel an die Kammer angeschlossen ist, um Verlustleistungen zu vermeiden. Die Leistung wird dann verwendet, um geladene Ionen in der reaktiven Umgebung zu erzeugen, die zu den Substraten wandern, die Elektromigration im Substrat induzieren. SAMCO RIE-1C hat auch die Möglichkeit, mit verschiedenen Zubehör angepasst werden. Ein automatisierter Neigungs- und Rotationsmechanismus kann für die Dual-Site-Verarbeitung (Patterning) verwendet werden. Eine Quarzansicht über der Hauptkammer gibt Benutzern einen Überblick über den Ätzvorgang in der Kammer. Die Kammer verfügt auch über zwei getrennte Öffnungen, die mit der Außenseite der Hauptkammer in einer vakuumdichten Umgebung verbunden sind; mehrere Optionen sind entweder manuell oder automatisiert verfügbar, um den Austausch von Substraten zu ermöglichen, ohne das Vakuum zu brechen. RIE-1C ist ein vielseitiger Ätzer/Ascher, der sich ideal für hochwertige Mikrofertigungsanwendungen eignet. Es ist sicher zu verwenden und effizient, mit hoher Wiederholbarkeit und zuverlässiger Leistung. Dieser technologisch fortschrittliche Ätzer/Ascher produziert eng geätzte Mikrostrukturen mit außergewöhnlicher Präzision und Wiederholgenauigkeit, die Produktionsausbeute und Zuverlässigkeit gewährleisten.