Gebraucht SAMCO RIE-1C #9357610 zu verkaufen
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ID: 9357610
Reactive Ion Etcher (RIE)
Vacuum chamber:
Quartz: 212 mm diameter
Rectangular view port at front panel
Hinged lid with front mounted handle
Mesh cover
Electrodes:
Parallel plate design
Cathode coupling (RIE) mode
Distance: 44 mm (Fixed)
Upper electrode:
Aluminum
Diameter: 140 mm
Shower-head gas dispersion system
Lower electrode:
Type: Cathode (RF electrode)
Stainless steel
Diameter: 120 mm
Water cooled
Special tray:
Aluminum
Diameter: 120 mm
Maximum substrate size: 100 mm
RF Power source:
Solid state power generator
Crystal control
Power: 13.56 MHz, 200 W (Maximum)
RF Power interlock
With chamber lid
Vacuum pump:
Double stage rotary pump
Flow rate: 240 l/min
With PFPE pump fluid
Oil mist filter
Solenoid operated nitrogen gas ballast control valve
Couplings with metal vacuum hose
Vacuum gauge:
Capacitance monometer: 0-2 Torr
Gas delivery and inlet system:
(2) Mechanical flow meter controlled lines: CF4 / O2
Nitrogen purging line
Flow range: 0-20 SCCM
Timers:
Digital for process time: 0-99 Seconds, minutes / Hours
Resolution: 0.1s
Adjustable purging time: 0-60 Seconds
Audio alarm
Utilities required:
Step-down transformer
Cooling water: 2 Liter/min
Supply pressure: 15-20°C, 0.1-0.2 MPa
Supply and return connection: RC 1/4" and 1/4" O.D Tubing
Depth filter: 20 µm
Process gas supply: 0.1 MPa (15 psig)
Connection: Swagelok fittings, ¼"
Filters: 2 µm
Safety features:
Door interlock
Pressure interlock
Pressure reached alert
Venting:
Exhaust duct for pump
NW 25 Rotary pump exhaust
Power supply: 100 VAC, 15 A, Single phase.
SAMCO RIE-1C ist ein Rapid Ion Etcher (RIE) von SAMCO, Inc. Es ist für das Ätzen und Aschen einer Vielzahl von Materialien konzipiert. Dieser Hochleistungsätzer erzeugt mit einem elektronisch gesteuerten Hochleistungs-HF-Generator einen hochreaktiven Ionenstrahl, der eine Vielzahl von Materialien ätzen oder aschen kann. Die Geräte eignen sich für den Einsatz in chemischen Labors, Forschungszentren, Universitäten und Hightech-Industrien. Das Hauptmerkmal von RIE-1C ist sein Hochleistungs-HF-Generator. Dieser Generator kann eine Leistung bis zu 4.2kW erzeugen und ermöglicht schnelle Ätz- und Ascheprozesse. Es ist auch mit einem digitalen Controller für präzise Leistungsregelung und Pumpgeschwindigkeit ausgestattet. Dieser Controller verfügt über eine digitale Anzeigekonsole, die es dem Benutzer ermöglicht, die Leistung und andere Parameter für verschiedene Ätz- und Ascheprozeduren einfach anzupassen. Außerdem weist der Ätzer eine mehrschichtige Struktur auf. Die äußere Schicht (Kathode) besteht aus schwerem Legierungsmaterial und die innere Schicht (Substrat) aus Titanlegierung. Diese doppelschichtige Struktur verbessert den Ionenstrahl und sorgt für eine gleichbleibend hohe Qualität des geätzten Materials. Der HF-Generator wird mit Gleichstrom versorgt, der von einem externen Kondensator gespeist wird. Dies trägt dazu bei, eine unterbrechungsfreie Stromversorgung auch bei langfristigen Ätz- und Ascheprozessen zu gewährleisten. SAMCO RIE-1C verfügt über eine Reihe von Zubehör, darunter eine Wasserkühlpumpe, einen Gastank, HF-Spulen, eine Autofokussierlinse und einen Gaszufuhradapter. Dies ermöglicht eine Vielzahl unterschiedlicher Ätz- und Ascheanwendungen. Als zusätzliches Feature verfügt RIE-1C außerdem über eine spielfeste Struktur, um das geätzte und aschte Material an Ort und Stelle zu halten. Abschließend ist SAMCO RIE-1C ein leistungsstarker Ätzer und Ascher, der sich besonders für den Einsatz in chemischen Labors, Forschungszentren, Universitäten und Hightech-Industrien eignet. Es verfügt über einen Hochleistungs-HF-Generator, einen digitalen Controller und eine Doppelschichtstruktur, die gleichbleibend hochwertige geätzte und ashte Materialien liefert. RIE-1C kommt auch mit einer Reihe von Zubehör, um eine Vielzahl von verschiedenen Ätz- und Ascheanwendungen zu ermöglichen.
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