Gebraucht SAMCO RIE-200iP #9157972 zu verkaufen

SAMCO RIE-200iP ist ein reaktiver Ionenätzer (RIE), der für das Trockenätzen von Halbleiterverbindungen konzipiert wurde. Es ist ein Ätzer mit hoher Ätzgleichförmigkeit und Wiederholbarkeit, wodurch es für eine breite Palette von Ätzanwendungen geeignet ist. RIE-200iP ist ein eigenständiges System mit allen notwendigen Komponenten, einschließlich einer 6 „x 6“ -Kammer, Prozessgasströmungsleitungen und einer auswerfenden Stromversorgung, sowie Computerwerkzeugen und einer Steuerung. Dieser Ätzer weist eine 6 „x 6“ -Kammer mit einer Unterstangenfläche auf, die zum Zeitpunkt der Vakuumverarbeitung einen gleichmäßigen Spalt zwischen dem Wafer und der Stromversorgung bildet. Dies sorgt für absolute Ätzgenauigkeit. Druck und Gasstrom können je nach Ätzmaterial und gewünschtem Aufbau eingestellt werden. Dies wird durch die SAMCO pro3 Software gesteuert, mit der die spezifischen Parameter für das Ätzen wie Vorspannung, Durchflussmenge des Prozessgases und Temperatur eingestellt werden können. SAMCO RIE-200iP verfügt auch über ein 2-stufiges Stromversorgungssystem. Die erste Stufe besteht aus einer Spannungsklemmschaltung, die die Versorgungsspannung stabil hält und somit eine hohe Gleichmäßigkeit im Ätzvorgang gewährleistet. Die 2. Stufe ist eine E-Pistole, die mit einer Fokussierlinse geliefert wird, wodurch die Beschleunigung von Ionen die Ätzrate erhöht. Zusätzlich hat der Ätzer eine aktive Überspannungsschutzfunktion, die einen Stromschlag vermeidet und den Bediener während des Betriebs schützt. RIE-200iP verfügt außerdem über einen Geschwindigkeitsfilter zur Minimierung von Status- und Materialschäden. Es ist in der Lage, mit verschiedenen Gasen wie Plasma auf Chlorbasis, Plasma auf Fluorbasis und Plasma auf Sauerstoffbasis zu arbeiten. Die Ätzrate lässt sich leicht einstellen und ist damit ein vielseitiges Werkzeug für unterschiedliche Ätzbedürfnisse. Insgesamt bietet SAMCO RIE-200iP eine effiziente und genaue Umgebung zum Ätzen von Halbleiterverbindungen. Mit seinem benutzerfreundlichen Design, der präzisen Ätzgleichmäßigkeit, der hohen Wiederholbarkeit und dem Überspannungsschutz ist dieser Ätzer ein leistungsstarkes Gerät für eine Vielzahl von Ätzanwendungen.