Gebraucht SAMCO RIE-200iP #9365949 zu verkaufen

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Hersteller
SAMCO
Modell
RIE-200iP
ID: 9365949
Weinlese: 2007
ICP Etcher system 2007 vintage.
SAMCO RIE-200iP ist eine fortschrittliche Ätz-/Aschemaschine für den Einsatz in der Halbleiterherstellung. Dieses System ermöglicht das qualitativ hochwertige, hochpräzise Ätzen oder Aschen von Wafern und Substraten, die in einer Vielzahl von Verfahren verwendet werden. Es ist mit einer Reihe von Funktionen und Bedienelementen ausgestattet, die ein präzises, wiederholbares Ätzen oder Aschen ohne die Gefahr von Verunreinigungen oder Beschädigungen empfindlicher Oberflächen ermöglichen. RIE-200iP bietet eine hochpräzise Musterätzeinheit, die fortschrittliche Hardware und Software verwendet, um ein schnelles, qualitativ hochwertiges Ätzen mit minimalen thermischen Schäden zu ermöglichen. Die integrierte Überwachungs- und Steuerungsmaschine ermöglicht eine genaue Überwachung der Prozessparameter, um Prozessstabilität und -qualität zu gewährleisten. Es hat auch einen selbstreinigenden Prozess, der Verschmutzungen verhindert und einen optimalen Betrieb gewährleistet. Das Werkzeug ist in der Lage, verschiedene Materialien zu ätzen, einschließlich Silizium, Galliumarsenid, Diamant, Kupfer, Polysilizium und Polyimid, mit Präzision, die über alle Wafer konsistent ist. Es verwendet eine parallele Elektrodenanlage, um qualitativ hochwertiges Ätzen bereitzustellen, und ist mit einem zweistufigen elektrostatischen Spannfutter (ESC) ausgestattet, so dass sowohl das vordere als auch das hintere Elektrodenätzen genau durchgeführt werden können. SAMCO RIE-200iP bietet auch eine verbesserte Prozesssteuerung, die eine Feinabstimmung von Ätzparametern wie Ätzzeit, Temperatur, Druck und Dotierungsgaszusammensetzung ermöglicht, ohne die Prozessintegrität zu beeinträchtigen. Es verfügt außerdem über eine automatisierte Gasbewegung, die eine homogene Leistung während des gesamten Prozesses gewährleistet. Darüber hinaus ist RIE-200iP mit einem integrierten Sicherheitsmodell ausgestattet, das unbefugten Zugriff verhindert und die Sicherheit der Benutzer gewährleistet. Darüber hinaus ist die Anlage für eine einfache Integration in bestehende Anlagensysteme ausgelegt, die eine schnelle Installation und Wartung ermöglicht. SAMCO RIE-200iP bietet ein fortschrittliches Ätz-/Aschesystem, das hervorragende Wiederholbarkeit und Präzision bietet. Die integrierte Hard- und Software sorgt für schnelles, zuverlässiges Ätzen und Aschen mit minimalen thermischen Schäden. Darüber hinaus verbessern die automatisierten Funktionen die Prozesskontrolle und erhöhen die Sicherheit. Diese Einheit macht es einfach, hochwertige Wafer und Substrate mit konsistenten Eigenschaften herzustellen, was es zu einem idealen Werkzeug für die Halbleiterherstellung macht.
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