Gebraucht SAMCO RIE-200iP #9395966 zu verkaufen

SAMCO RIE-200iP etcher/asher ist eine computergesteuerte, hochpräzise, induktiv gekoppelte reaktive Ionenätzmaschine (RIE), die zur Herstellung von Dünnschicht-Mikroelektronikbauelementen einschließlich Halbleitern und photonischen Bauelementen verwendet wird. Die Maschine ist für hochpräzises Ätzen, Aschen und Photoresist-Strippen mit hoher Materialgenauigkeit ausgelegt. Die Maschine nutzt die bewährte, induktiv gekoppelte, plasmainduzierte RIE-Technologie, um saubere und kontrollierbare Materialätzungen mit geringem Materialabtrag zu produzieren. RIE-200iP wurde entwickelt, um einen maximalen Materialdurchsatz bei sehr geringer Partikelerzeugung zu erzielen und gleichzeitig eine ausgezeichnete Ätzgleichmäßigkeit und Ätzgenauigkeit zu gewährleisten. Das System nutzt sowohl Hoch- als auch Niederdruck-RIE-Prozesse zur präzisen Steuerung von Ätzrate und Materialselektivität. Der Hochdruckbetrieb ermöglicht es dem Anwender, Ätzrate und Selektivität zu optimieren und der Niederdruckbetrieb sorgt für hohe Materialätzgleichförmigkeit. Die Maschine hat eine Arbeitskammer von 200mm x 200mm (8 „x 8“), mit verstellbaren Substratelektroden für schnelle Materialbearbeitung. Ein variabler HF-Generator sorgt für Substratvorspannung mit hoher Frequenz und hoher Leistung für schnelle Materialbearbeitung. SAMCO RIE-200iP hat eine maximale Ätzrate von 15 nm/min (~ 1500A/min) und kann eine maximale Ätztiefe von 6 µm erreichen. Die Maschine ist sowohl mit einem Helium-Massenspektrometer als auch mit einem Pirani-Manometer zur präzisen Steuerung des Ätzprozesses ausgestattet. RIE-200iP können für einmalige oder unbegrenzte Zyklen programmiert werden, was eine einfache Anpassung des Ätzprozesses ermöglicht. Darüber hinaus ermöglicht die Maschine dem Benutzer, den gesamten Ätzprozess von einem beliebigen entfernten Standort aus auszuführen. Zusätzlich wurde das System mit einem digitalen Verriegelungssystem für zusätzliche Sicherheit ausgestattet. SAMCO RIE-200iP ist die perfekte Wahl für das präzise Ätzen und Aschen von Dünnschichtmaterialien und Photoresist Stripping, insbesondere für Leuchtdioden (LED), Display und optoelektronische Anwendungen. Die Maschine bietet höchste Präzision bei idealer Wiederholbarkeit und Gleichmäßigkeit. Es ist eine ideale Wahl für die Herstellung von mikroelektronischen Geräten, insbesondere für diejenigen mit extremen Präzisionsanforderungen.