Gebraucht SAMCO RIE-200IPC #293656750 zu verkaufen

SAMCO RIE-200IPC ist ein hocheffizienter Ätzer/Ascher für die spezifische Aufgabe des Ätzens und Aschens von Halbleiterscheiben. Es wird mit einer Reihe von fortschrittlichen Technologien und Funktionen gebaut, die es ermöglichen, hohe Produktivität und präzise Prozesskontrolle zu erreichen. RIE-200IPC kommt angetrieben durch eine fortschrittliche SAM-RIE (Sam Engineering RIE) automatisierte Präzisionsätz- und Ascheausrüstung. Dieses System besteht aus einer patentierten dualen magnetischen Rühreinheit kombiniert mit einem zweistufigen tiefen Vakuumprozess und variabler Frequenz Mikrowellentechnologie, die zuverlässige und wiederholbare Prozessergebnisse liefert. Es verfügt außerdem über einen niedrigen Prozessdruck (bis zu 1,5 Pa), einen großen Kammertemperaturbereich von -5 ° C bis + 200 ° C und eine schnelle Waferübertragungszeit (unter 2 Minuten). SAMCO RIE-200IPC ist auch mit einer Vielzahl von Sicherheitsfunktionen für zusätzliche Sicherheit und Zuverlässigkeit ausgestattet, einschließlich einer automatischen Abschaltmaschine und einer Fehlerüberwachung. Dieses Tool bietet zudem eine hervorragende Prozesswiederholbarkeit und Steuerbarkeit. Die Anlage ist mit einem dreiachsigen Bewegungsregler ausgestattet, der eine Manipulation von Waferwinkeln für präzises Ätzen/Aschen ermöglicht. Zusätzlich liefern das eingebaute Frontplattendisplay und die interaktive Benutzeroberfläche auf Knopfdruck ein klares Feedback zu den aktuellen Verarbeitungsbedingungen. RIE-200IPC ist darauf ausgelegt, aufgrund seiner niedrigen Zykluszeiten hervorragende Durchsatzraten zu bieten. Es hat eine Taktrate von 1 Wafer-Charge/15 Minuten und einen maximalen Durchsatz von 30 Wafern/Stunde. Darüber hinaus minimiert es den Materialverbrauch aufgrund seiner Fähigkeit zur Kantenverlustkontrolle und der effizienten Abfalldampfrückgewinnung. Diese Ätz-/Aschemaschine bietet durch ihre geringe Ausgasung und Temperaturstabilität auch zuverlässigen Umweltschutz. SAMCO RIE-200IPC etch/ash System ist eine gut abgerundete Einheit, die den Prozessanforderungen einer Vielzahl von Halbleiteranwendungen gerecht wird. Seine hocheffiziente automatisierte Ätz- und Aschemaschine, umfangreiche Sicherheitsmerkmale und eine leistungsfähige Prozesskontrolle sind alle Faktoren, die zu seiner überlegenen Leistung und Zuverlässigkeit beitragen.