Gebraucht SAMCO RIE-200IPC #293798661 zu verkaufen

SAMCO RIE-200IPC Ätzer/Ascher ist eine zuverlässige, präzise und vielseitige Plasmaätzer/Ascher-Ausrüstung für Forschungs- und Entwicklungsanwendungen. Das System basiert auf einem Hochfrequenz-Gasplasmaverfahren, bei dem das Werkstück einem Gemisch aus einem Prozessgas und einem hochfrequenten elektrischen Feld ausgesetzt wird, das von einem Anpassungsnetzwerk erzeugt wird. Dieses Gerät ist in der Lage, Siliziumätzraten von bis zu 20 nm pro Sekunde zu erreichen, was es zu einem idealen Werkzeug für Anwendungen macht, die ein druckempfindliches, hochgradiges Ätzen erfordern. RIE-200IPC ist ein iterativer Plasmaätzer/Ascher, der in der Lage ist, gleichmäßige Ätzprofile und feine Oberflächenrauhigkeiten über mehrere Substrate zu erreichen. Es verfügt über ein oszillierendes Netzteil mit 0.5-50MHz Betriebsfrequenz, einstellbarer Spannung (bis zu 1500V) und variabler Frequenz, um ein präzises Ätzen empfindlicher Materialien zu ermöglichen. Die Maschine verfügt auch über eine automatische Prozesssteuerung, die eine einfache Einstellung der Ätzparameter für jede Art von Material ermöglicht. Die Prozessrohre des Werkzeugs sind mit einer Inertgasquelle ausgestattet, damit Etchron geätzte Oberflächen die Oxidation empfindlicher Materialien eliminieren können. SAMCO RIE-200IPC verwendet ein geringes thermisches Budget, um dünne Folien zu ätzen, so dass feine Muster mit minimaler spannungsbedingter Verzerrung geätzt werden können. Es verfügt auch über eine Plasmaabgasanlage mit einstellbarer Druckregelung, Temperaturüberwachung und anderen Sicherheitsmerkmalen, um eine optimale Prozesssicherheit zu gewährleisten. Das Modell eignet sich sowohl für langfristige Produktionsdurchsätze als auch für Prototyping-Anwendungen. RIE-200IPC verspricht hohe Durchsatzleistung mit einer Schicht-Schicht-Wiederholgenauigkeit von +/- 1% über große Substrate. Seine robuste und zuverlässige Konstruktion macht es auch eine gute Wahl für anspruchsvolle Ätzanwendungen, bei denen Verschmutzung und thermische Verzug minimiert werden müssen. Zudem bietet die Anlage eine hohe Flexibilität bei der Verarbeitung von Materialien und eignet sich somit für verschiedenste Ätzanwendungen. SAMCO RIE-200IPC ist ein vielseitiger, leistungsstarker Ätzer/Ascher, der hohe Seitenverhältnisse in einer Vielzahl von Materialien herstellen kann. Das niedrige thermische Budget-Design, die einstellbaren Prozessparameter und die ausgezeichnete Wiederholbarkeit machen RIE-200IPC zu einer großen Wahl für Forschungs- und Entwicklungslabore und Produktionsanlagen.