Gebraucht SAMCO RIE-200IPC #9183499 zu verkaufen

SAMCO RIE-200IPC ist ein reaktiver Ionenätzer (RIE), der für das Ätzen einer Vielzahl von Materialien von hart bis weich entwickelt wurde. Es ist eine kostengünstige Produktionsanlage, die sowohl für niedrige als auch für hohe Stückzahlen geeignet ist. Der Ätzer ist mit einer beweglichen unteren Platte ausgestattet, die eine präzise Ausrichtung des geätzten Wafers ermöglicht. Dieser Ätzer verfügt über eine Standard-Quarzkammer, wodurch er sehr langlebig und langlebig ist. RIE-200IPC verfügt über einstellbare Druck- und Temperaturregelungssysteme, die ein Ätzen in verschiedenen Tiefen und Temperaturen ermöglichen. Diese Einstellungen können an der automatisierten Touchscreen-Schnittstelle angepasst werden. Der Ätzer enthält auch eine Liste von Bordmaterialien und eine Rezeptspeicherung für wiederholbare Prozessergebnisse. Das System ist hoch programmierbar und ermöglicht sowohl manuelle als auch automatische Betriebsarten. Die beiden Prozessgase, modifiziert O2 und NF3, können unabhängig für spezielle Prozesse, einschließlich Hoch- und Niederdruckverarbeitung, geregelt werden. SAMCO- RIE-200IPC können eine Vielzahl von Materialien und Substraten einschließlich Hartpolymeren, Silizium, Siliziumdioxid und Galliumarsenid ätzen. Der Ätzer verwendet ein umgekehrtes Magnetron, das eine gleichmäßige Ätzrate über Waferflächen bis zu 6 Zoll Durchmesser liefern kann. Der Ätzer wird mit einem Bordverschluss geliefert, der verwendet werden kann, um Materialaufbau zu verhindern und die Zeit nach dem Ätzen zu reduzieren. Die Maschine verfügt auch über ein integriertes Partikelkontrollwerkzeug, das die Produktverschmutzung minimiert. Diese Anlage wurde für eine hocheffiziente Filtration entwickelt, die einen hocheffizienten Partikelluftfilter und einen HEPA-Filter umfasst, um die Verschmutzung in der Luft zu reduzieren. Darüber hinaus verfügt RIE-200IPC über ein wartungsfreies Fernnachbehandlungsmodell, das zur Verringerung der Kammerkontamination entwickelt wurde. Das Gerät ist außerdem mit einem Leckprüfsystem und einer Vakuumeinheit zur Überwachung der Ätzeffizienz ausgestattet. Insgesamt ist SAMCO RIE-200IPC sehr fortschrittlich und zuverlässig für das Ätzen einer breiten Palette von Materialien. Die hochpräzisen Steuerungssysteme, die verbesserte Automatisierung und die integrierte Partikelkontrollmaschine tragen zur Verringerung der Produktverschmutzung und zur Optimierung der Verarbeitungsergebnisse bei. RIE-200IPC ist ideal für die Verarbeitung mit geringem bis hohem Volumen und liefert qualitativ hochwertige, wiederholbare Ergebnisse.