Gebraucht SAMCO RIE-200IPC #9287082 zu verkaufen

Hersteller
SAMCO
Modell
RIE-200IPC
ID: 9287082
ICP Etcher.
SAMCO RIE-200IPC ist ein reaktiver Ionenätzer (RIE) zur Herstellung von sehr reproduzierbaren, hochgenauen Ätzmerkmalen in einer Vielzahl von Materialien. Es eignet sich für die Herstellung von integrierten Schaltungen (ICs), magnetischen Aufzeichnungsköpfen, MEMS, Präzisionsoptiken und Optoelektronik. RIE-200IPC ist eine vollautomatisierte High-End-Ätzausrüstung, die durch eine Kombination aus fortschrittlichen Technologien und präziser Prozesskontrolle äußerst präzise und konsistente Ergebnisse erzielt. Es arbeitet unter Hochvakuumbedingungen, um saubere Ätzergebnisse ohne Hinterschneidung, dielektrisches Ätzen oder Oberflächenverschmutzung zu erzielen. Das hochpräzise Automatisierungssystem mit hohem Durchsatz sorgt für wiederholbare Ätzfunktionen mit einer Auflösung von 0,2-98,0 Mikrometern. Darüber hinaus optimiert die fortschrittliche Embedded-Software Ätzstrategien, um den Ätzprozess kontinuierlich zu überwachen, um Abweichungen in den Ergebnissen zu verhindern. SAMCO RIE-200IPC verfügt über eine koaxiale Abschirmung der Prozesskammerwände zur Minimierung der Oberflächenaufladung, eine hochwertige Vakuumeinheit zur vollständigen Entfernung von Prozessgasen und einen effizienten ETCH DISK O3 Generator zur Verbesserung der Erfolgsrate von O3-Prozessen. Darüber hinaus enthält die Maschine auch ein sehr zuverlässiges, automatisches Substratübertragungswerkzeug zum Be- und Entladen von Substraten mit einer maximalen Größe von 12 „× 12“. Darüber hinaus ist RIE-200IPC mit einer inerten Prozesskammer aus Aluminiumlegierung für längere Gerätelebensdauer, einer modularisierten Reinigungs- und Wartungsanlage und einer intelligenten digitalen Kommunikationsschnittstelle aufgebaut. Es ist mit einer intuitiven grafischen Benutzeroberfläche für die Konfiguration von Ätzrezepten, die Überwachung der Bedienung des Modells und die Datenerfassung zur weiteren Analyse ausgestattet. Dieses Gerät unterstützt auch die Peripheriegeräte zum automatischen Be- und Entladen von Substraten, zur Gaszufuhr, zur Abgasbehandlung und zur Emissionsüberwachung. SAMCO RIE-200IPC liefert zuverlässige und wiederholbare Leistung für das Ätzen einer breiten Palette von Materialien, einschließlich Metallen, Oxiden, Nitriden, Kunststoffen und vielen anderen. Es eignet sich hervorragend für die Herstellung von kleinmaßstäblichen, hochgenauen Merkmalen und für Großserienätzanwendungen. Insgesamt ist RIE-200IPC eine leistungsstarke, vielseitige und automatisierte reaktive Ionenätzlösung, die überlegene Ätzergebnisse bei minimalen Durchlaufzeiten liefert.
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