Gebraucht SAMCO RIE-200NL #293621510 zu verkaufen

SAMCO RIE-200NL ist eine Ätz- und Aschemaschine, die von SAMCO Technologies entwickelt und hergestellt wurde. Dieses System ist für eine Vielzahl von Ätz- und Ascheanwendungen wie Elektronik, Halbleiter und Optoelektronik konzipiert. RIE-200NL nutzt ein induktiv gekoppeltes Plasma (ICP) -Ätzverfahren, das Vorteile gegenüber herkömmlichen Ätzverfahren wie tiefes anisotropes Ätzen und ein extrem niedriges Temperaturverfahren bietet. Dadurch kann der Benutzer die Ätzrate steuern, die Energie anpassen und Prozessparameter ändern, um das gewünschte Ergebnis zu erzielen. Das Gerät ist mit einem fortschrittlichen Controller ausgestattet, der vielseitige Funktionen zur Steuerung des Ätzprozesses und der Betriebsparameter bereitstellt. Es enthält auch eine Selbstdiagnosefunktion, die die Maschinenleistung und die Diagnose überprüft, auf die remote zugegriffen werden kann. SAMCO RIE-200NL verfügt über einen Gaseinlasskrümmer mit vier unabhängigen Gaskanälen, so dass der Ätzer das optimale Gasgemisch auswählen kann. Die Prozesskammer besteht aus Edelstahl und Quarz und bietet eine ausgezeichnete Temperatur- und Druckregelung. Die Kammer weist auch abnehmbare Seitenwände auf, so dass große Wafer und mehrere Substratkonfigurationen verarbeitet werden können. RIE-200NL ist mit einem hocheffizienten Zweifrequenz-Mikrowellengenerator ausgestattet, der niedrige Innentemperaturen beibehält und die Partikelverschmutzung minimiert. Es bietet auch Benutzerprogrammierbarkeit, so dass der Benutzer leicht anpassen Prozessparameter und Rezepte. Der Anwender kann auch die Wafertemperatur in situ überwachen. Die optionale Grundplatte ermöglicht eine schnelle Rezeptanpassung und hilft, Kreuzkontaminationen zu minimieren. Es ist auch mit einer breiten Palette von Ätzchemie kompatibel, einschließlich Halogen-basiertes Ätzen, Schwefel-basiertes Ätzen, und sowohl Chlor und Fluor-basiertes Ätzen. SAMCO RIE-200NL etcher/asher ist ein ideales Werkzeug für die Forschung und Entwicklung fortschrittlicher Ätz- und Ascheprozesse. Mit seiner vielseitigen Funktionalität, seiner hohen Präzision und seiner Benutzerfreundlichkeit ist es für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet, einschließlich Halbleiter-, optoelektronischer, mikroelektronischer und anderer Industrien, die Ätz- und Ascheprozesse benötigen.