Gebraucht SAMCO RIE-200NL #293638507 zu verkaufen

Hersteller
SAMCO
Modell
RIE-200NL
ID: 293638507
Weinlese: 1999
Reactive Ion Etcher (RIE) High frequency power supply: 13.56 MHz, maximum 300 W Crystal Oscillation control solid state type Impendence auto-matching Digital display in the touch panel Compound molecular pump Type: N2 Purge line with auto leak line auxiliary Direct connection type (rotary pump): 208 liters/min Automatic pressure control valve, 4" Perot seal air operated valve SUS316 Piping Pipe connection joint: 1/4" VCR Welded Mass flow controller: MFC Line / Gas / Flow MFC 1 / SiCi4 / 50 SCCM MFC 2 / CF4 / 100 SCCM MFC 3 / SF6 / 100 SCCM MFC 4 / SF6 / 100 SCCM MFC 5 / O2 / 100 SCCM 1999 vintage.
SAMCO RIE-200NL ist ein reaktiver Ionenätzer/Ascher für eine breite Palette von Oberflächenvorbereitungs- und Ätzoperationen. Es ist eine vielseitige Ausrüstung, die verwendet werden kann, um eine Vielzahl von Anwendungen von kleinen Chargen bis zu hochpräzisen Ätzen zu erreichen. Dieser Ätzer/Ascher wurde entwickelt, um eine gute Prozesswiederholbarkeit und eine hervorragende Auflösung der Funktionen zu gewährleisten, um konsistente, qualitativ hochwertige Ergebnisse zu erzielen. Es eignet sich für jede Art von Material, wie Polysilizium, amorphes Silizium, Glas und Metall. Dieses System basiert auf einer Doppelkammerkonstruktion, wobei die Ätzkammer und die Aschekammer durch eine einzige Pumpe und Sensorsatz miteinander verbunden sind. So kann der Benutzer mit wenigen Klicks zwischen Ätzen und Aschen wechseln. Die Hauptkammer ist mit einer entfernten Plasmaquelle ausgestattet, die in jeder Position platziert werden kann, um den Ätzprozess zu optimieren. Die Ätzkammer ist ferner mit einem zylindrischen Glasfenster, einer Balgvakuumdichtung und einem Kühlmantel zur Stabilisierung und Regelung der Temperatur des Prozesses ausgestattet. Im Inneren der Ätzkammer verwendet RIE-200NL Ätzgase, um Material von der Oberfläche des Substrats abzubauen und abzuscheiden. Der Ätzprozess kann mit verschiedenen Parametern wie Ätzrate, Selektivität, Induktivität und Schichtdicke optimiert werden. Das Gerät ist in der Lage, leistungsstarke Sub-Mikron-Funktionen mit ausgezeichneter Wiederholbarkeit zu produzieren, was es ideal für hochpräzise Anwendungen macht. SAMCO RIE-200NL kann auch durch zusätzliches Zubehör wie Schattenmasken, Liner und Abstandshalter sowie sekundäre Verarbeitungsmöglichkeiten wie Heizen und Kühlen weiter verbessert werden. Die Waschkammer dient zur Entfernung von Kohlenstoff- und Staubpartikeln und ist mit einer eingebauten Plasmaquelle ausgestattet, um eine optimale Partikelentfernung zu gewährleisten. Sowohl Ätz- als auch Ascheprozesse können über einen Bordcomputer sowie von einem entfernten Standort aus überwacht und gesteuert werden. Darüber hinaus können alle Teile für Wartungs- und Reparaturarbeiten problemlos zugegriffen werden. Außerdem verfügt die Maschine über ein optionales berührungsloses Echtzeit-Temperaturüberwachungswerkzeug zur weiteren Prozessoptimierung. Insgesamt ist RIE-200NL ein effektiver und zuverlässiger Ätzer/Ascher, der eine hervorragende Präzision und Wiederholbarkeit bietet. Es ist in der Lage, High-End-Ergebnisse mit großer Präzision und Effizienz zu produzieren, so dass es eine ideale Wahl für eine breite Palette von Oberflächenvorbereitung und Ätzoperationen.
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