Gebraucht SAMCO RIE-212ip #293760254 zu verkaufen

SAMCO RIE-212ip ist ein fortschrittliches reaktives Ionenätzsystem (RIE) für sensible Ätzanwendungen. Es eignet sich gut für Anwendungen von der Halbleiterherstellung bis zur Biomedizintechnik. RIE-212ip ist mit einer 12-Zoll-Wafergröße ausgestattet, was es zu einer idealen Wahl für jede Anwendung macht, die einen höheren Durchsatz erfordert. Es verfügt über hochpräzise optische Komponenten zur genauen Positionierung des Ätzprozesses und kann fünf Ätzgas-Serviceleitungen mit bis zu zwei unabhängigen Vakuumkammern verarbeiten. Die Benutzeroberfläche der Maschine ermöglicht eine genaue Steuerung der Ätzparameter und bietet eine Echtzeit-Überwachung der Prozessbedingungen. SAMCO RIE-212ip ist in der Lage, bei Temperaturen bis 200 ° C zu arbeiten und kann eine Vielzahl von präzisen Ätzprozessen bewältigen. Die gleichzeitige Strömung von zwei Prozessgasen für das Niedertemperaturätzen ist durch die Kammer möglich und somit eine ideale Wahl für die Verarbeitung von Aluminium-, Silizium- und Titanlegierungen. Der einstellbare Gesamtdruck innerhalb des Ätzers ermöglicht auch eine enge Kontrolle über das Ätzen während des Prozesses. Der hochgenaue Direktantriebsschrittmotor, der in RIE-212ip verwendet wird, macht es in der Lage, mit Prozesswiederholbarkeit und -genauigkeit zu übertreffen. Der Motor verfügt über einen Glas-Encoder, der horizontal und vertikal liest, so dass die Maschine an eine Vielzahl von Ätzanwendungen anpassbar ist. Der untere antireflektierende Beschichtungsfilter der Maschine verhindert die Lichtreflexion beim Ätzen, minimiert die Lichtstreuung und verbessert die Prozessgenauigkeit. SAMCO RIE-212ip ist mit einem Zwei-Kassetten-Wafer-Aufzug und verstellbarem Wafer-Futter für bequemes Be- und Entladen von Wafern konzipiert, was eine deutlich verbesserte Effizienz und Produktivität bietet. Die eingebauten Sensoren der Maschine ermöglichen die automatische Erkennung von Geräte-/Wafersubstratereignissen, was Sicherheit und Bedienkomfort während des Ätzprozesses gewährleistet. Das intuitive Betriebssystem und die grafische Benutzeroberfläche von RIE-212ip unterstreichen die Leistung der Maschine und machen sie benutzerfreundlich und ermöglichen eine effiziente Produktion. Die Diagnosefunktionen des Systems verbessern zudem seine Benutzerfreundlichkeit und machen die Maschine zu einer leistungsstarken Wahl für jede sensible Ätzanwendung.