Gebraucht SAMCO RIE-212iPC #293587430 zu verkaufen
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SAMCO RIE-212iPC ist ein hochmoderner Ätzer und Ascher, der für eine Vielzahl von Ätz- und Ascheprozessen im Halbleiterhalbleiter eingesetzt werden kann. Dieses Gerät ist ein fortschrittliches, miniaturisiertes und hochzuverlässiges Ätz- und Aschersystem, das eine hohe Genauigkeit und Kontrolle von Ätz- und Ascheprozessen für die Halbleiterherstellung ermöglicht. SAMCO RIE 212 IPC verfügt über eine Vielzahl von Funktionen und Vorteilen, wie eine Oxidationsätzfähigkeit, eine hermetische ultra-saubere Kammer und ein ultrahochauflösendes Oberflächenansichtsfenster. Die Oxidationsätzfähigkeit dieser Einheit ermöglicht das Ätzen und die Oberflächenvorbereitung unterschiedlichster Materialien und Prozessknoten mit einem höheren Grad an Genauigkeit und Durchsatz. Die hermetische ultra-saubere Kammer sorgt dafür, dass die Prozessumgebung kontaminationsfrei bleibt, während das ultrahochauflösende Oberflächenansichtsfenster es dem Bediener ermöglicht, den Prozessfortschritt genau zu überwachen. RIE-212iPC verfügt auch über eine Gasliefermaschine auf Helmholtz-Basis, mit der Gase präzise und präzise geliefert und gesteuert werden können, um eine optimale Ätz- und Ascheleistung zu erzielen. Das Gasförderwerkzeug besteht aus einem mehrphasigen Gasregelventil, einem passiven Gasvorwärmer und einem passiven Gasreiniger, die zur Optimierung der Temperatur und des Druckes des Prozesses in die Kammer eingebaut wurden. RIE 212 IPC verfügt auch über eine mehrstufige variable Stromquelle, die eine breite Palette von Leistungsstufen für Ätz- und Ascheprozesse bietet. Die variable Stromquelle besteht aus einem PPIM-Asset (Pulse-Power Impedance Matching), das das Verhältnis von Leistung zu Tiefe der Ätz- und Ascheprozesse optimiert. Zusätzlich ist die variable Stromquelle mit einem Ionenfiltrationsmodell ausgelegt, das höhere Leistungsdichten ermöglicht und gleichzeitig die Bildung unerwünschter Ätzprodukte reduziert. SAMCO RIE-212iPC besteht auch aus einer Vorverarbeitungssteuerungseinrichtung, die eine Echtzeitüberwachung und -steuerung der Prozessparameter ermöglicht. Mit diesem fortschrittlichen Prozesssteuerungssystem können Benutzer auf eine Vielzahl von Ätz- und Ashing-Prozessrezepten zugreifen, mehrere Prozessparameter einrichten, den Fortschritt des Prozesses überwachen und prozessbezogene Probleme beheben. Abschließend ist SAMCO RIE 212 IPC ein hochmoderner Ätzer und Ascher, der das Ätzen und Aschen von Halbleitermaterialien mit hoher Genauigkeit und Durchsatz erleichtert. Diese Einheit verfügt über eine Vielzahl von Funktionen und Vorteilen, wie eine fortschrittliche Prozesssteuerung, eine hermetische Ultrareinkammer, eine Gasfördermaschine auf Helmholtz-Basis und eine mehrstufige variable Stromquelle, wodurch RIE-212iPC ein hocheffizientes und zuverlässiges Ätz- und Ascherwerkzeug ist, das ideal für die Halbleiterherstellung ist.
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