Gebraucht SAMCO RIE-212iPC #293587431 zu verkaufen
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SAMCO RIE-212iPC ist eine fortschrittliche Reactive Ion Etching (RIE) Ausrüstung, die hochpräzises Ätzen für eine Vielzahl von Materialien bietet. Es wird verwendet, um Mikro- und Nanostrukturen in einer Vielzahl von Anwendungen wie mikroelektromechanische Systeme (MEMS), Halbleiterbauelementherstellung und Display-Zellherstellung zu verstärken. Das System ist ein effizientes und kostengünstiges Werkzeug zum hochauflösenden Ätzen einer Vielzahl von Materialien wie Silizium, Germanium, Galliumarsenid, Aluminium und Polymeren mit ausgezeichneter Ätzgleichmäßigkeit und Genauigkeit. SAMCO RIE 212 IPC ist mit einer 600 mm x500 mm Hauptkammer für große Mengen an zu ätzendem Substrat und einer 200mm x150 mm Seitenkammer für kleinere Wafer und Proben gebaut. Sein Arbeitsdruckbereich liegt zwischen 50 mTorr und 400 mTorr und beinhaltet eine eingebaute Titan-Getter-Vakuumpumpe, die einen extremen Druck von 0,1 mTorr oder besser liefert. Die Ätzkammer besteht aus Edelstahl, mit einem 140 W Heizelement und einem Temperaturbereich von 0-200 ° C. Das Gerät verfügt auch über eine digitale Radsteuerung, um den Ätzdruck, die Durchflussrate und die Zeit einzustellen. RIE-212iPC bietet präzise Lösungen für das Ätzen mit ultrahoher Auflösung und wiederholbaren Ergebnissen. Es zeichnet sich durch präzise Gleichmäßigkeit in allen Bereichen der Substrate, niedrige Rückstandsmengen und verbessertes dielektrisches Ätzen aus. Es verwendet eine fortschrittliche Computermaschine, um alle seine Funktionen zu steuern, wie Ätzrezepte, die für genaue und wiederholbare Ergebnisse programmiert werden können. Es enthält auch ein Gaslieferwerkzeug mit Sicherheitssensoren und ein Fernbedienungskissen. RIE 212 IPC ist ideal für diejenigen, die präzise und wiederholbare Ätzung für eine Vielzahl von Materialien und Anwendungen suchen. Seine Präzision und sein niedriger Rückstandsgehalt ermöglichen ein exzellentes Polieren und eine Gesamtlackierung. Es ist auch extrem einfach zu programmieren und zu bedienen, so dass es eine gute Wahl für Labore, Forschungseinrichtungen und andere Bereiche, die präzise Ätzlösungen erfordern.
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