Gebraucht SAMCO RIE-212iPC #293761450 zu verkaufen

SAMCO RIE-212iPC
Hersteller
SAMCO
Modell
RIE-212iPC
ID: 293761450
Wafergröße: 4"-6"
ICP Etcher, 4"-6".
SAMCO RIE-212iPC ist ein Ätzer und Ascher, der sich am besten für hochpräzises reaktives Ionenätzen und -veraschen mit atmosphärischem Druck eignet, das üblicherweise in der Halbleiterherstellung verwendet wird. Das Gerät ist vollautomatisiert und enthält verschiedene Prozessparameter, um hervorragende Ätzqualität und Kosteneffizienz zu liefern. Der Ätzer verfügt über eine große Hochvakuumkammer mit einer Kapazität von 200 cm3, die große Chargen und eine verkürzte Bearbeitungszeit ermöglicht. Für eine hohe Vakuumleistung sorgen eine zweistufige Schrupppumpe und eine raffinierte Turbo-Molekularpumpe. Eine einfache, intuitive Benutzeroberfläche kann zur Steuerung der automatisierten Geräte verwendet werden, einschließlich Drucksteuerung, Prozessgassteuerung und Anwendung von Hochspannung. Es enthält auch einen rotierenden Elektrodenhalter, der gleichmäßige Ätzergebnisse auf allen Oberflächen gewährleistet. Das Gerät verfügt auch über eine High-Power Source Control-Funktion, die erweiterte Prozesse wie Hochgeschwindigkeitsätzen und eine hohe Genauigkeit ermöglicht. Je nach Produktanforderung kann der Ätzer eine Vielzahl von Gasen wie O2, CF4, Ar und SF6 verwenden. Darüber hinaus enthält es eine Versorgungssteuerspannung bis 2,000V mit einer Genauigkeit von +/- 0,5%. Das eingebaute Sicherheitsmerkmal des Gerätes gewährleistet seine Sicherheit sowie die Sicherheit der Umgebung. Dazu gehören ein Lichtbogenerkennungssystem, eine Überwachungseinheit, eine Not-Aus-Maschine und ein Gaserkennungswerkzeug. Darüber hinaus ist das Gerät mit einer Temperaturüberwachungseinrichtung ausgestattet, mit der die Temperatur der Prozesskammer und ihrer Komponenten überwacht werden kann, wodurch prozessbedingte Schäden reduziert werden können. Zusammenfassend ist SAMCO RIE 212 IPC Ätzer und Ascher für hochpräzises reaktives Ionenätzen unter Atmosphärendruck konzipiert, was hervorragende Leistung mit automatischer Prozesssteuerung und einer Reihe von Sicherheitsmerkmalen liefert. Die große Kapazität des Geräts ermöglicht eine verbesserte Leistung und reduzierte Verarbeitungszeit.
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