Gebraucht SAMCO RIE-212iPC #9036931 zu verkaufen
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ID: 9036931
ICP etching system, 8"
System type: cassette-to-cassette production
Active wafer temperature control (Helium backside cooling)
Electrostatic chuck for wafer clamping
Processing of multiple wafers possible using the tray cassette
Fully automatic operation using graphical touch panel screen
Data management and recipe management
Data logging is possible with use of an optional P
Application:
Low-damage etching of GaN, GaAs, InP for production of electronic and light emitting devices
Etching of ferroelectric materials for memory devices
High-speed etching for micromachine production
Currently operational
2009 vintage.
SAMCO RIE-212iPC Trockenätzer ist ein leistungsstarkes Werkzeug, das eine breite Palette von Ätzanwendungen auf verschiedenen Materialien ermöglicht. Seine breite Palette von Funktionen machen es zu einem großartigen Werkzeug für viele Anwendungen, einschließlich Reinigung, Erstellen von Funktionen und Ätzen großer Bereiche. SAMCO RIE 212 IPC hat eine Kammergröße von 6000 cm ³ und kann Temperaturen von bis zu 500 ° C erreichen. Es verfügt über eine hochpräzise Heizung und eine anspruchsvolle, geschlossene Temperaturregeleinrichtung, die es dem Benutzer ermöglicht, die Temperatur der Plasmaquelle genau zu steuern. RIE-212iPC ist mit einer Reihe von Druckreglern und Gasfördersystemen ausgestattet. Es kann in einer Vielzahl von Drücken verwendet werden, so dass Sie mit einer Vielzahl von Prozessgasen arbeiten können. RIE 212 IPC verfügt über eine Hochdruck-Hochstrom-Turbomolekularpumpe, die ein konsistentes, wiederholbares, zuverlässiges Ätzen und einen hohen Durchsatz gewährleistet. SAMCO RIE-212iPC verfügt über drei Dual-Source-Plasmaquellenmodule, mit denen Sie das auswählen können, das am besten zu Ihrer spezifischen Ätzanwendung passt. Es verfügt über ein Antikollisionssystem, das Schäden an den Kammerwänden, Türdichtungen und Kammerkomponenten verhindert. SAMCO RIE 212 IPC hat eine Reihe von Funktionen entwickelt, um es einfach zu bedienen, wie eine intuitive Bedienoberfläche, automatischer Plasmarückstoß und viel Platz für Probenein- und entladen. Es ist an eine anspruchsvolle PC-basierte Steuereinheit angeschlossen, die eine einfache Bedienung und Fernzugriff ermöglicht. RIE-212iPC verfügt über eine hocheffiziente RF-Power-Maschine, die bei 200W bis zu 13.56MHz liefern kann, um qualitativ hochwertige Ätzergebnisse zu erzielen. Es verfügt auch über ein erweitertes automatisches Tuning-Tool, das eine schnelle Einrichtung der Ätzprozessparameter ermöglicht. Zusammenfassend ist der Trockenätzer RIE 212 IPC eine ideale Maschine zum Ätzen unterschiedlichster Materialien. Seine hohe Präzision, Temperaturregelung ermöglicht präzise Ätzergebnisse bei minimalem Gasverbrauch, während seine Palette von Drücken, Prozessgasen und Quellmodulen die Flexibilität bietet, das beste Setup für jede Anwendung zu finden. Die intuitive Benutzeroberfläche und das hocheffiziente HF-Leistungsmodell machen es zu einer ausgezeichneten Wahl für Ätzanwendungen.
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