Gebraucht SAMCO RIE-212iPC #9189842 zu verkaufen

SAMCO RIE-212iPC
Hersteller
SAMCO
Modell
RIE-212iPC
ID: 9189842
ICP Etching systems.
SAMCO RIE-212iPC ist ein Ätzer/Ascher für die komplexe Verarbeitung von dünnen und dicken Folienmaterialien. Es ist in der Lage, verschiedene Polymere, Dielektrika, Keramiken, Metalle und andere Materialien zu ätzen und zu aschen. Diese leistungsstarke Einheit wurde entwickelt, um die Gleichmäßigkeit in der Ätz- und Aschebearbeitung zu gewährleisten und eignet sich für eine Vielzahl von Halbleiterindustrien. SAMCO RIE 212 IPC umfasst eine integrierte Plasmaquelle sowie einen Gasbypass mit einem ASIC-gesteuerten Hochleistungsgasversorgungssystem. Die Plasmaquelle weist eine motorisch angetriebene Kammer und einen kalten Abschnitt zur zeitlichen Reduzierung der Gastemperatur auf. Dieses Gerät ist mit einer grafischen Benutzeroberfläche für eine einfache Bedienung ausgestattet. Es hat auch ein hinten angebrachtes Wasserstoff- und Sauerstoffsystem, das einen Abgasfilter enthält. Der Ätzer/Ascher ist in der Lage, entweder mit einem festen oder einstellbaren Temperaturbereich mit einer maximalen Kammertemperatur von bis zu 1000℃ zu ätzen und zu aschen. Die Maschine kann auch eine Vielzahl von Materialien verarbeiten, darunter oxidiertes Silizium, Siliziumnitrid, amorphes Silizium, Aluminium, Titannitrid, ITO und mehr. RIE-212iPC ist mit einer integrierten luftdichten, Titan-abgeschirmten Kammer ausgelegt, die eine hervorragende technische Genauigkeit und Wiederholbarkeit bietet. Das Gerät sorgt zudem für ein gleichmäßiges Ätzen und Aschen mit hochpräziser Z-Achse und Wafer-Kippsteuerung. Es verfügt über ein integriertes Diagnosesystem, das die Prozessparameter in Echtzeit auf verbesserte Genauigkeit, Stabilität und Wiederholbarkeit überwacht. Die Einheit kommt auch mit einer breiten Palette von Materialien, die in der Maschine verwendet werden können, einschließlich Siliziumoxid, Tantalnitrid, Gold, Aluminiumnitrid, Kupfer und verschiedenen Nicht-Silizium-Materialien. Es kann auch für Niederdruckprozesse verwendet werden, die für eine Reihe von Fortschrittsprozessen nützlich sind, die hohe Leistung und niedrigen Druck erfordern. Insgesamt ist RIE 212 IPC ein zuverlässiger und genauer Ätzer/Ascher, der zur Verarbeitung einer Vielzahl von Materialien verwendet werden kann. Es verfügt über erweiterte Funktionen, die Präzision und Wiederholbarkeit bieten, sowie integrierte Sicherheitsfunktionen, die eine sichere Betriebsumgebung gewährleisten. Das Gerät kommt mit einer Vielzahl von Materialien, die für Hochleistungs- und Niederdruckprozesse verwendet werden können, so dass es eine gute Wahl für Halbleiter- und Elektronikanwendungen ist.
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