Gebraucht SAMCO RIE-300NR #293804464 zu verkaufen

Hersteller
SAMCO
Modell
RIE-300NR
ID: 293804464
Weinlese: 2013
Reactive Ion Etcher (RIE) 2013 vintage.
SAMCO RIE-300NR ist ein Ätzer/Ascher, speziell ein reaktiver Ionenätzer (RIE), der für die hochpräzise Mikrofertigung verwendet wird. Dieses industrielle Werkzeug bietet überlegene Leistung und ermöglicht es Benutzern, Teile mit hoher Oberflächengenauigkeit konsequent zu fertigen. SAMCO RIE 300 NR ist ein kostengünstiges, zuverlässiges Gerät für den Einsatz in vielen verschiedenen Branchen, einschließlich Mikroelektronik, Biotechnologie-Labors und mehr. Die Vorrichtung verfügt über eine Vakuumkammer, angetrieben von einer 85 m3/h Turbomolekularpumpe, die einen Basisdruck von 2x10 ^ -3 Pa oder niedriger erreichen kann. Dies ermöglicht es Anwendern, Ätz- und Ascheprozesse mit extrem hoher Präzision durchzuführen. Die Bedienelemente sind sehr intuitiv, mit einem 5,7-Zoll-LCD-Touch-Panel zur Eingabe von Befehlen und Anzeigeinformationen. Das leistungsstarke computerbasierte Betriebssystem vereinfacht die Steuerung weiter. Im Gegensatz zu den meisten RIE-Systemen verfügt RIE-300NR über ein Inline-CCD-Kamerasystem zur Online-Überwachung von Prozessen. Die Kamera ist mit einem Mikroskop mit 5x, 10x und 20x Vergrößerung verbunden, so dass Benutzer den laufenden Prozess beobachten können. Durch die Überwachung des Prozesses können Benutzer Parameter einfach auf optimale Leistung einstellen. RIE 300 NR ist mit der patentierten XCEL® -Plasmaquelle ausgestattet, die es Anwendern ermöglicht, hochreaktive Plasmen mit außergewöhnlicher Plasmagleichförmigkeit und geringer Ionenenergieausbreitung zu erzeugen. Darüber hinaus verfügt das Gerät über ein einzigartiges Waferausrichtsystem für höhere Verarbeitungsgenauigkeit und Reproduzierbarkeit. Seine Prozessgase werden durch eine Kombination von Massendurchflussreglern und Dosierventilen mit einer Genauigkeit von +/-0,5% geliefert, wodurch der Einfluss des Gasdurchsatzes auf die Verarbeitungsergebnisse minimiert wird. Die Gasanlagen weisen ferner eine Druckprofilsteuerungsfunktion auf, die es dem Benutzer ermöglicht, den Gasdruck innerhalb der Kammer zu profilieren. Diese Funktion stellt sicher, dass die Reaktion für jede Art von geätzten Materialien optimiert wird. SAMCO RIE-300NR bietet letztendlich überlegene Leistung für die Mikrofertigung verschiedener Materialien mit höchster Genauigkeit und Wiederholgenauigkeit. Seine High-End-Funktionen bieten Anwendern eine beispiellose Kontrolle des Ätzprozesses und gewährleisten jedes Mal konsistente Ergebnisse.
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