Gebraucht SAMCO RIE-300NR #9234636 zu verkaufen

SAMCO RIE-300NR ist eine Ätz- und Aschevorrichtung, die für den Einsatz in der Produktion integrierter Schaltungen (IC), Mikroelektronik und verwandten Anwendungen entwickelt wurde. Das System bietet ein zuverlässiges und präzises chemisches Ätzen und Aschen verschiedener Substrate. SAMCO RIE 300 NR kann einen Bereich von 4 „bis 12“ (100mm bis 300mm) Wafer in seiner Kassettenart Ätz- und Aschekammer aufnehmen. Erleichtert wird dies durch die Kombination von schwimmender Stufe und automatisierter Ventilsteuerung von RIE-300NR. Die Kammerumgebung wird durch eine eingebaute Durchflussmeßeinheit gesteuert, die speziell zur genauen Einstellung des Gasstroms ausgelegt ist. RIE 300 NR kann eine breite Palette von Ätz- und Aschebedingungen verarbeiten. Es wurde zum Ätzen und Aschen von Aluminium, Wolfram, Polysilizium, Quarz und anderen Halbleitermaterialien mit Gasen wie CF4, SF6, NF3, CDA und Sauerstoff getestet. Die Maschine wurde für den Betrieb bei hohen Temperaturen von bis zu 660 ° C sowie bei Unternulltemperaturen von bis zu -100 ° C ausgelegt. Dies wird durch die eingebaute Kühlfähigkeit des Werkzeugs durch flüssigen Stickstoff erleichtert. SAMCO RIE-300NR ist mit einer fortschrittlichen Software-Steuerung ausgestattet, die eine optimale Steuerung des Ätzens/Aschens gewährleistet. Dies ermöglicht eine automatisierte Rezeptsteuerung, die in das Modell integriert ist und effizientere und genauere Ätz- und Ascheprozesse ermöglicht. Diese fortschrittliche Software-Steuerung ermöglicht auch programmierbare Fensterläden, um Sauberkeitsstandards zu erfüllen. Darüber hinaus verfügt SAMCO RIE 300 NR über ein integriertes Vakuumpumpen- und Entlüftungssystem, das eine saubere Prozesskammeratmosphäre gewährleistet. Diese Einheit ist angeblich in der Lage, Vakuumniveaus unter 10-6 Torr zu erreichen. Dadurch wird ein kontinuierlicher Betrieb ohne Verschmutzung gewährleistet. Die Maschine wird mit Industriekomponenten konstruiert, die die strengen Bedingungen von Ätz- und Ascheprozessen im Labor bewältigen. RIE-300NR verfügt auch über eine breite Palette von überwachten Sicherheitsfunktionen, die den Benutzer und die Umgebung schützen sollen. RIE 300 NR Ätz- und Aschwerkzeug ist eine zuverlässige und präzise Ätz- und Aschelösung für die Produktion integrierter Schaltungen. Es ist geschickt im Umgang mit einer breiten Palette von Ätz- und Aschebedingungen, sowie bietet automatisierte Software-Steuerung und Vakuumstufen von 10-6 Torr. SAMCO RIE-300NR bietet mit seinen industrietauglichen Komponenten und Sicherheitsmerkmalen eine zuverlässige und sichere Ätz- und Aschelösung für Laboranwendungen.