Gebraucht SAMCO RIE-300NR #9249082 zu verkaufen
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SAMCO RIE-300NR ist ein leistungsstarker, reaktiver Ionenätzer (RIE). Dieses fortschrittliche Ätz- und Aschewerkzeug befindet sich in einem dichten, abgedichteten Gehäuse und wurde entwickelt, um Materialien wie Silizium, Galliumarsenid und Aluminium mit einer Genauigkeit von bis zu 0,1 Mikrometern genau zu mustern. Darüber hinaus verfügt es über eine Flusssäure-Dampfreinigungsanlage, ein automatisiertes Druckregelsystem und einen Trockenlauf-Bypass-Modus für reduzierte Ausfallzeiten. SAMCO RIE 300 NR bietet das Beste aus beiden Welten, indem es sowohl das Ätzen als auch das Aschen in einer Einheit kombiniert. Es verfügt über eine große Kammergröße, die in der Lage ist, Substrate mit einem Durchmesser von bis zu 10 "zu handhaben. RIE-300NR hat auch eine Vielzahl von Kammer- und Waferhaltekonfigurationen, um unterschiedliche Projektanforderungen zu erfüllen. Seine hochreine Poly-Freon-Gasliefermaschine trägt dazu bei, einen hohen Durchsatz und konstante Ätzraten über eine Vielzahl von Prozessen aufrechtzuerhalten. RIE 300 NR ist aufgrund seiner fortschrittlichen Plasmakontrollsysteme und Ellipsometerfunktionen eine ideale Wahl für die Herstellung kleiner und komplexer Funktionen. SAMCO RIE-300NR kann helfen, eine breite Palette von Prozessparametern mit Hilfe seiner in-situ Endpunkterkennung, Hochfrequenzgenerator und kapazitiv gekoppelte Kammer zu erreichen. Darüber hinaus gibt SAMCO RIE 300 NRs eingebauter Abgasanschluss Benutzern die Freiheit, eine unausgewogene Verarbeitung innerhalb der Kammer durchzuführen, ohne Plasma- oder Coriolis-Kräfte zu entlüften. RIE-300NR ist eine ideale Wahl für Photomasken Reparatur und Wafer Rückseite Ätzreinigung Anwendungen. Dieser fortschrittliche Ätzer und Ascher ist perfekt für die Verarbeitung aller Arten von Materialien, einschließlich Silizium, Galliumarsenid und Aluminium. Es ist auch in der Lage, Kegelwinkel und hinterschnittene Profilprofile mit einer Genauigkeit von bis zu 0,1 Mikrometer zu ätzen. RIE 300 NR bietet mit seinem automatisierten Druckregelwerkzeug und dem Trockenlauf-Bypass-Modus höchste Leistung für reduzierte Ausfallzeiten.
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