Gebraucht SAMCO RIE-300NR #9402475 zu verkaufen

SAMCO RIE-300NR ist ein zuverlässiger reaktiver Ionenätzer (RIE), der zum Ätzen einer Vielzahl von Substraten wie Quarz, Silizium, Keramik, Metallen und Polymeren entwickelt wurde. Es bietet ausgezeichnete Prozessstabilität, Wiederholbarkeit und Gleichmäßigkeit. SAMCO RIE 300 NR ist in der Lage, Merkmale bis zu 0,2um in einer Vielzahl von Materialien zu ätzen. Damit eignet es sich für Präzisionsätzanwendungen wie Mikroelektronik, Optoelektronik und MEMS. RIE-300NR ist mit einer kleinen, kostengünstigen Konsole ausgestattet und wird von einer großen Plattform unterstützt. Es umfasst bis zu fünf Prozesskammern mit verschiedenen Arten von Zellen, wie Hochdurchsatzfässer, Wellenleiterkammern und lineare Zellen. Es verfügt auch über eine Reihe fortschrittlicher Funktionen wie Hochtemperaturbetrieb, Druck-/Strömungsregelung, automatisierte Prozessabfolge und eine breite Palette von Kühl-/Spüloptionen. RIE 300 NR bietet auch eine Reihe von erweiterten Funktionen, wie High-End-Prozessüberwachung, ein proprietäres benutzerfreundliches Touchscreen-Bedienfeld und Software, programmierbare Rezepte und Rezeptfreigabe, eine Web-Browser-Schnittstelle und erweiterte Prozess-Sequenzer. Auf diese Weise können Benutzer die Maschine nach ihren Anforderungen konfigurieren und zuverlässige, wiederholbare und konsistente Ätzszenarien sicherstellen. SAMCO RIE-300NR verfügt über eine breite Palette von Prozessgasen, die Flexibilität und optimierte Prozesssteuerung bieten. Gase wie Cl2, O2, Ar, BCl3, N2 und SF6 können in einer Vielzahl von Durchfluss- und Druckeinstellungen verwendet werden, um die Ätzergebnisse zu optimieren. Das Gasfördersystem ist in der Lage, beste Präzision und Kontrolle bei minimalen Ausfallzeiten zu gewährleisten. SAMCO RIE 300 NR ist auch mit einer optionalen Vakuumpumpe erhältlich, mit der die Durchbruchspannung beim Ätzen dünner Filme reduziert werden kann. Dies macht es für Dünnschichtanwendungen geeignet und sorgt für zuverlässige und wiederholbare Ätzergebnisse. RIE-300NR ist das perfekte Werkzeug für die Ätzanwendung für eine Vielzahl von Materialien wie Halbleiter, Keramik, Glas und Polymere. Es bietet überlegene Prozesssteuerung, zuverlässigen Betrieb und hervorragende Wiederholbarkeit und ist ideal für Präzisionsforschung und technische Anwendungen.