Gebraucht SAMCO RIE-331iPC #9395956 zu verkaufen

SAMCO RIE-331iPC ist ein fortschrittlicher asynchroner reaktiver Ionenätzer (RIE), der für das dielektrische Ätzen bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen entwickelt wurde. Dieses Ätzgerät vereint Leistungsmerkmale wie hohe Gleichmäßigkeit, präzise Steuerung von Ätzparametern, reproduzierbare Ätzprofile und die Fähigkeit, eine Vielzahl von dielektrischen Materialien zu ätzen. Es kann in verschiedenen Halbleiterprozessen wie der Bildung von Gateoxid, Kontaktätzen und hoher Seitenverhältnisätzung eingesetzt werden. RIE-331iPC besteht aus einer Vakuumkammer, einem Gasfördersystem und einer hochpräzisen Plasmaquelle. Die Kammer ist eine vertikale rechteckige Struktur, die in der Lage ist, einen Basisdruck von 1 × 10-3 Pa. zu erreichen. Sie hat ein vierpoliges elektrostatisches Spannfutter, das Substrate bis zu 8 Zoll Durchmesser und 20 mm dick halten kann. Die Gasfördereinheit ist mit einem HF-Stromgenerator und einem Gasmassenstromregler zur Steuerung des Gasstroms ausgestattet. Die Batch-Heizmaschine in SAMCO RIE-331iPC soll die Substrattemperaturänderung während der Ätzzyklen reduzieren. Die vielseitige Plasmaquelle von RIE-331iPC ist ideal für den Einsatz in verschiedenen Ätzprozessen. Es hat eine einstellbare Leistung bis zu 300 W, hat variable Frequenz, variable Elektrodenvorspannung und einstellbare Gaszusammensetzung. Dadurch werden optimale Ätzbedingungen für die spezifische Anwendung gewährleistet. SAMCO RIE-331iPC wird auch mit einem fortschrittlichen Diagnosewerkzeug geliefert, das die Gleichmäßigkeit von Plasma, Druckstabilität und Gasverbrauch messen kann. RIE-331iPC ist eine fortschrittliche Ätzanlage, die für eine zuverlässige Waferproduktion ausgelegt ist. Das fortschrittliche Gasliefermodell und die einstellbare Plasmaquelle bieten eine präzise Ätzsteuerung. Darüber hinaus sorgt die Serienheizung SAMCO RIE-331iPC für einheitliche Ätzergebnisse und das Diagnosesystem für eine präzise Datenerfassung und -kontrolle. RIE-331iPC ist ein leistungsfähiger und zuverlässiger Drehätzer für dielektrische Ätzanwendungen.