Gebraucht SAMCO UCP LFC 101 #293798827 zu verkaufen

SAMCO UCP LFC 101 ist ein modernes Plasmaätz-/Aschwerkzeug für Hochleistungs-Ätz- und Reinigungsprozesse in der Halbleiter- und Mikroelektronikfertigung. Diese vielseitige Ausrüstung kombiniert fortschrittliche Technologien, um beispiellose Kontrolle und Präzision bei Materialabtragungs- und Oberflächenmodifikationsanwendungen zu bieten. LFC 101 bietet eine breite Palette von Fähigkeiten und ist damit eine wesentliche Lösung für Forschungs- und Entwicklungslabore, Universitäten und Industrieanlagen, die optimale Ergebnisse in ihren Prozessen erzielen möchten. SAMCO UCP LFC 101 ist mit einer Hochfrequenz-Plasmaquelle ausgestattet, die eine Niederdruck-Plasmaumgebung mit hoher Dichte erzeugt, die für verschiedene Ätz- und Ascheprozesse geeignet ist. Die Kammer des Werkzeugs ist so konzipiert, dass sie eine einheitliche Plasmaverteilung und Temperaturregelung gewährleistet und konstante und reproduzierbare Ergebnisse auf verschiedenen Substraten gewährleistet. Die Top-Down-Konfiguration des Systems ermöglicht ein einfaches Be- und Entladen von Proben, wodurch schnelle Durchlaufzeiten und ein effizienter Betrieb ermöglicht werden. Ein wesentliches Merkmal von LFC 101 ist seine erweiterten Prozesssteuerungsfunktionen, die es Anwendern ermöglichen, wichtige Parameter wie Gasfluss, Druck, Leistung und Temperatur genau anzupassen, um die gewünschten Ätz- oder Reinigungseffekte zu erzielen. Das Werkzeug ist kompatibel mit einer Vielzahl von Gasen, einschließlich Sauerstoff, Argon, CF4, SF6 und CHF3, so dass eine flexible Prozessoptimierung für verschiedene Materialtypen und Anwendungen möglich ist. Darüber hinaus bietet die Softwareschnittstelle des Systems eine intuitive Steuerung und Überwachung von Prozessparametern, vereinfacht die Bedienung und steigert die Produktivität. SAMCO UCP LFC 101 ist in der Lage, eine Vielzahl von Ätzprozessen durchzuführen, unter anderem reaktives Ionenätzen (RIE), tiefreaktives Ionenätzen (DRIE) und isotropes Ätzen. Diese Verfahren ermöglichen eine präzise Musterübertragung und Materialabtragung auf Substraten wie Silizium, Siliziumdioxid, Siliziumnitrid und Metallen. Die hohe Selektivität und die Anisotropiesteuerungsfunktionen des Werkzeugs machen es ideal für komplizierte Muster, Gräben, Vias und Funktionen mit hohen Seitenverhältnissen und Submikron-Abmessungen. Neben dem Ätzen kann LFC 101 auch für Plasmaaschverfahren verwendet werden, bei denen organische Verunreinigungen und Rückstände von Substratoberflächen entfernt werden. Die Veraschbarkeit des Werkzeugs ist unerlässlich, um saubere und gleichmäßige Oberflächen vor anschließenden Bearbeitungsschritten wie Abscheiden, Lithographie und Verkleben zu gewährleisten. Durch die effektive Entfernung organischer Verunreinigungen trägt das System zur Verbesserung der Qualität und Zuverlässigkeit von Geräteherstellungsprozessen bei. Insgesamt ist SAMCO UCP LFC 101 ein hochmodernes Plasmaätz-/Veraschungswerkzeug, das eine unübertroffene Leistung, Präzision und Vielseitigkeit für eine breite Palette von Halbleiter- und Mikroelektronik-Anwendungen bietet. Mit seinen fortschrittlichen Prozesssteuerungsfunktionen, der Kompatibilität mit verschiedenen Gasen und der Fähigkeit, mehrere Ätz- und Ascheprozesse durchzuführen, ist das Tool ein unverzichtbares Gut für Forschungs- und Fertigungsanlagen, die überlegene Ergebnisse bei der Materialbearbeitung und der Geräteherstellung erzielen möchten.