Gebraucht SCHMID Blue 1100 #9006876 zu verkaufen
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ID: 9006876
Wafergröße: 6"
Weinlese: 2010
PECVD System
Direct plasma source
370-440 kHz
88 wafer per tray, 1100 wafer per hr (based on 6" wafer)
N2 SiH4, NH3 gases
Vacuum supply and gas supply system included
Abatement excluded
PLC controlled, including recipe management
Currently installed
2010 vintage.
SCHMID Blue 1100 ist eine chemische Ätz- und Aschemaschine, die in der Halbleiterherstellung eingesetzt wird. Es ist eine effiziente, zuverlässige und kostengünstige Lösung für Substrate von 4 "-Wafern, Metall und MEMS bis hin zu fortschrittlichen 3D-Mustern. Die Maschine ist mit einer einzigartigen Technologie namens „Smart Chip Matching“ ausgestattet, wodurch Chips oder Geräte perfekt aufeinander abgestimmt werden können, wodurch ein höherer Durchsatz und bessere Ertragsraten erzielt werden. Blau 1100 ist mit einem Ganzstahlrahmen gebaut, der optimale Strömung und maximale Leistung ermöglicht. Der Rahmen sorgt für eine stabile Konfiguration auch bei Hochtemperaturbetrieb und ist zudem für eine einfache Wartung ausgelegt. Die Kammer ist für einen gleichmäßigen Ätzeffekt ausgelegt und wurde für den Reinraumbetrieb nach IEC 61672-3 zugelassen. Es wurde auch getestet, um der Modulation des Temperaturbereichs von -10 ° C bis + 54 ° C standzuhalten. Die Maschine wird von einem fortschrittlichen intelligenten Verarbeitungssystem angetrieben, das für die Verarbeitung mit hohen Geschwindigkeiten unter Beibehaltung ausgezeichneter Erträge entwickelt wurde. Es ist mit PID-Temperaturreglern ausgestattet, die es Ihnen ermöglichen, bei höheren Temperaturen zu laufen und Temperaturschwankungen zu minimieren. Es hat auch verschiedene Ein-/Ausgangskarte, einen Thermodrucker, ein Drei-Wege-Ventil für schnelle thermische Zyklen, und andere dedizierte Komponenten für Präzisionsätzen und Aschen. Die Maschine verfügt über ein fortschrittliches Kühlsystem, das optimale Prozesstemperaturen ermöglicht. Darüber hinaus läuft ein Kühlwasserdesign rund um die Kammer, so dass die Substrate während langer Prozesszeiten und hoher Temperaturen stabil bleiben. SCHMID Blue 1100 verfügt zudem über intelligente Software zur Optimierung von Zyklen, erhöhter Genauigkeit und Sicherheit. Es kann auch aus der Ferne betrieben werden und bietet Flexibilität in der Produktion. Anwender können schnell von einem Produkttyp zum anderen wechseln. Insgesamt ist Blue 1100 ein idealer Ätzer und Ascher für die Halbleiterproduktion. Es ist funktionsreich, robust und für den Reinraumbetrieb ausgelegt. Es kann große Substratscheiben mit viel höheren Ausbeuten und weniger variablen Prozessen verarbeiten, was eine effiziente und kostengünstige Halbleiterherstellung ermöglicht.
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