Gebraucht SCHMID Combi Line #9237970 zu verkaufen

SCHMID Combi Line ist ein multifunktionaler Ätzer/Ascher, der sowohl das Plasmaätzen als auch das Waschen von Wafern ohne manuellen Eingriff durchführt. Das Gerät besteht aus einer einzigen modularen Einheit, die eine Ätzkammer, Prozessgasleitungen, eine Vakuumausrüstung und eine In-situ-Plasmaquelle kombiniert. Die Ätzkammer von Combi Line ist mit internen Elektroden und einem geladenen Teilchenstrahl ausgestattet, der bei hoher Temperatur unvoreingenommenes ionisiertes Gas erzeugt, wodurch Ätzschäden minimiert und die Prozesskontrolle verbessert wird. Die einstellbaren Ätzprozessparameter, wie Druck- und Prozessgasstrom, werden von einem programmierbaren Logikregler (SPS) gesteuert. Das Gerät ist für die parallele Handhabung von bis zu sechs Wafern ausgelegt und ist mit allen gängigen Wafergrößen kompatibel. Der Wafer wird durch das an der oberen Scheibe befestigte Pad beheizt, was eine präzise manuelle Einstellung der Temperatur ermöglicht. Die in-situ Plasmaquelle in der Mitte der Ätzkammer ist abnehmbar und für unterschiedliche Ätzrezepte programmierbar. Das Asynchrondruckregelsystem (APRS) in der SCHMID Combi Line kann automatisch eingestellt werden, um den Druck in der Ätzkammer zu steuern. Es ermöglicht dem Gerät, ohne den Einsatz einer externen Pumpe zu ätzen, was sowohl Kosten als auch Zeit reduziert. Die Drehascheinheit der Einheit bietet den Vorteil einer gleichmäßigen Erwärmung der Wafer während des Aschvorgangs. Dies reduziert das thermische Budget und verhindert Schäden an empfindlichen Schichten oder Strukturen durch thermische Diffusion. Der modulare Aufbau der Ausrüstung erleichtert die schnelle Wartung und den Austausch. Die gesamte Maschine ist auf einer kompakten Plattform aufgebaut und nutzt eine einzige Luftschleuse für den schnellen Transfer der Wafer. Die SPS ist mit einer grafischen Benutzeroberfläche (GUI) ausgestattet, die eine einfach zu bedienende Oberfläche für die Eingabe und Ausführung von Ätz- und Ascherezepten und die Überwachung des Status des Tools bietet. Insgesamt bietet Combi Line erweiterte Ätz- und Aschefunktionen in einer Einheit. Das Gerät bietet erhöhten Durchsatz, verbesserte Prozesskontrolle und Präzision sowie reduzierte Betriebskosten.