Gebraucht SCHMID Infinity Line #293605245 zu verkaufen

SCHMID Infinity Line Ätzer/Ascher ist eine Ausrüstung für die fortschrittliche Verarbeitung einer Vielzahl von industriellen Materialien. Dieses System kann für eine breite Reihe von Anwendungen, vom einfachen Ätzen und den Ashing-Prozessen zu komplizierteren Oberflächenmikrostrukturierungsoperationen verwendet werden. Infinity Line Einheit besteht aus zwei Hauptmodulen; einen einzelnen Wafer-Ätz-/Waschprozessor und eine optionale Wärmebehandlungseinheit. Der SCHMID Infinity Line Ätz-/Ascheprozessor ist eine kompakt gestaltete Maschine mit einer benutzerfreundlichen Grafik-Benutzeroberfläche (GUI) und einer einfachen Prozesssteuerungsfunktion zur Gewährleistung maximaler Wiederholbarkeit und Reproduzierbarkeit. Dieses Werkzeug besteht aus einer schnell abtastenden Ätz-/Aschekammer sowie einem separat untergebrachten programmierbaren, triaxialen (X, Y und Ω) Regler mit einer Probenpositioniergenauigkeit von weniger als 1 μ m. Mit diesem Asset können Anwender die Ätz-/Ascheprozessparameter wie Temperatur und Leistung des Ätz-/Aschemechanismus genau steuern. Neben der Einzelwafer-Anwendung ist Infinity Line in der Lage, 25 Wafer im Batch-Modus zu handhaben. Ein integrierter Speicherspeicher ermöglicht es Benutzern, Rezepte für eine schnelle und problemlose Verarbeitung zu speichern und erneut auszuführen. Die SCHMID Infinity Line wird von einem frequenzgesteuerten Antriebsmotor angetrieben, der Prozessgeschwindigkeitsregelung und Präzision ermöglicht. Darüber hinaus steht eine Frequenzmodulationsmessung (FM) zur Verfügung, um den Prozessverlauf zu überwachen und Aberrationen in Echtzeit zu erkennen. Die optionale Wärmebehandlungseinheit, die an den Ätz-/Ascheprozessor der Infinity Line angeschlossen ist, ermöglicht den Anwendern die Vor- und Nachbehandlung des Substrats. Dieses Modell ist mit einem berührungslosen, nicht thermischen Pyrometer ausgestattet, um eine präzise Temperaturregelung und einheitliche thermische Behandlungen zu gewährleisten. Diese Einheit ermöglicht es Benutzern auch, mehrere thermische Behandlungsgase wie Ar und N2 zu verwenden, um Wärme genau auf das Substrat zu übertragen. Das Gesamtdesign des SCHMID Infinity Line Ätzers/Aschers ist sehr leistungsstark, verarbeitet eine breite Palette von Materialien und führt hochpräzise Ätz- und Ascheoperationen durch. Diese Ausrüstung sorgt für wiederholbare Ätz-/Ascheergebnisse und bietet das optimale Temperaturmanagement für thermische Behandlungen.