Gebraucht SCI AUTOMATION CAM2 #9249239 zu verkaufen

SCI AUTOMATION CAM2 ist eine fortschrittliche Ätz-/Aschemaschine, die für eine schnelle und qualitativ hochwertige Mikrofertigung mit geringem Platzbedarf entwickelt wurde. Es hat einen modularen Aufbau, der Flexibilität und Anpassung je nach den Bedürfnissen des Benutzers ermöglicht. CAM2 umfasst eine Feuchtbank zur chemischen Verarbeitung sowie eine Versuchskammer zum Aschen. Darüber hinaus ist es in der Lage, gut kontrollierte maskenlose und konventionelle Lithographie, Nassstrahlen und chemisches Dampfätzen (CVE) durchzuführen. SCI AUTOMATION CAM2 wird von einem intuitiven Zehn-Touch-LCD-Bildschirm mit einer grafischen Benutzeroberfläche (GUI) angetrieben, mit der Benutzer das System problemlos interagieren und steuern können. Es verfügt über eine Vielzahl von Prozessparametern, die von der GUI konfigurierbar sind, so dass der Benutzer den Prozess an seine gewünschten Spezifikationen anpassen kann. Das integrierte Design reduziert die externe Instrumentierung und die GUI spart Zeit beim Einrichten der Prozessparameter. Die Benetzungsbank enthält einen chemischen Vorratsbehälter, der temperaturgeregelt und zum Ätzen und Aschen auf die gewünschte Temperatur erhitzt wird. Das Reservoir ist an einem automatisierten Flüssigkeitshandhabungsgerät befestigt, so dass Chemikalien in den entsprechenden Verhältnissen präzise zugeführt und gemischt werden können. Weitere Bestandteile der Feuchtbank sind ein entionisierter Wassertank zur Verhinderung von Korrosion, recycelbare Abfallbehälter, eine Sicherheitskammer und eine Belichtungskammer mit einer ultravioletten Quelle. Die Belichtungskammer verfügt auch über integrierte Sensoren zur Überwachung des Prozesses, wie Temperatur und Druck. Die Aschekammer hat einen geschlossenen Innenraum, der für eine sichere und kontrollierte Atmosphäre ausgelegt ist. Es verfügt über eine Abgasmaschine zum Schutz der Arbeiter vor Gefahrstoffen, einstellbare Lüftergeschwindigkeiten und ein Temperaturregelwerkzeug, um die ideale Temperatur für den gewünschten Prozess zu erhalten. Die Waschkammer ist mit einem Quarztiegel zur Halterung von Wafern und einem zweiarmigen Roboter zum Ätzen und Bewegen von Wafern ausgestattet. CAM2 verfügt auch über automatisierte Ersatzteilhandhabung, schnelle Muster-/Substratumstellung und schnelle thermische Bearbeitungszeit. Es hat auch eine Reihe von Sicherheitsfunktionen wie eine Temperaturabschaltanlage, Not-Aus-Taste und ein Brandschutzmodell. Insgesamt ist SCI AUTOMATION CAM2 eine fortschrittliche und benutzerfreundliche Ätz-/Aschemaschine, die über ein integriertes Design und robuste Sicherheitsfunktionen verfügt. Der intuitive LCD-Touchscreen und die anpassbaren Prozessparameter bieten dem Anwender die Flexibilität, einen bestimmten Prozess auf seine Anwendung abzustimmen. Mit seinen umfangreichen Fähigkeiten und zuverlässiger Leistung ist CAM2 eine ideale Wahl für anspruchsvolle Mikrofabrikationsarbeiten.