Gebraucht SEMITOOL Excalibur 2000 #9226634 zu verkaufen

SEMITOOL Excalibur 2000 Ätzer/Ascher ist eine fortschrittliche Ausrüstung für die chemische Entfernung oder Abscheidung von Materialien. Es ist ein automatisiertes Halbleiter-, Wafer- oder Düsenpegelverfahren, das sowohl für Ätz- als auch für Ascheverfahren zur Herstellung von integrierten Halbleiterschaltungen (IC) verwendet wird. Excalibur 2000 Ausrüstung bietet ultimative Flexibilität in Wafer Größe und Substrate Typen; alle Arten von Halbleiterscheiben wie Silizium, Galliumarsenid, Silizium auf Saphir und Glaskeramiksubstrate können gehandhabt werden. SEMITOOL Excalibur System von 2000 wird häufig in Halbleiterzusammensetzungshalbleiterprozesslaboratorien verwendet. Der Ätzer/Ascher enthält einen Roboterarm mit einem Applikationspaddel, um die Prozesschemikalien homogen und automatisch auf die Wafer in der Prozesskammer zu verteilen. Der Roboterarm ist kompatibel mit Standard-Pod-Trägern; es ist auch mit einer Synchronisationskontrollkarte ausgestattet, mit der die Anzahl der Roboterbewegungen und Rezepte pro Wafer eingestellt werden kann. Der Roboterarm ist außerdem mit einer Synchronisationskontrolltafel zur prozesschemischen Lieferung verbunden, die Konsistenz und Genauigkeit der chemischen Verarbeitung gewährleistet. Excalibur 2000 verfügt über eine integrierte, hochmoderne Excalibur optische Maschine, die eine präzise Überwachung und Steuerung der Ätz-/Ascheprozesse ermöglicht. Das optische Werkzeug umfasst einen Infrarotscanner, einen optischen Bildgeber, einen optionalen Fotolackprüfkopf und einen kollimierten optischen Sensor mit einer variabel einstellbaren Faseroptik, die eine Echtzeitsteuerung der Ätz- und Ascheprozesse ermöglicht. Es bietet auch einstellbare Parameter wie Größe, Position, Dicke und Form der geätzten Merkmale auf den Wafern. SEMITOOL Excalibur 2000 Modell verfügt auch über eine erweiterte Multi-Point-HF-Quelle zum Ätzen mit einstellbarer Leistung und Art der HF-Wellenform. Es zeigt auch eine hohe Geschwindigkeit, hohe Präzision imager für die Anwendung von Schutzschichten für fortgeschrittene Prozesse wie Erhöhter Plasma-CVD. Schließlich basiert Excalibur 2000 auf einer benutzerfreundlichen Softwareplattform, die eine einfache Programmierung und Steuerung der Ätz-/Ascheprozesse über eine Touchscreen-Bedienoberfläche ermöglicht. Regelparameter wie Rezeptnummer, Wafergröße, Gasfluss, Temperatur, Druck, RIE-Parameter, RF-Parameter und Kühlzeit sind von der Schnittstelle aus einstellbar. SEMITOOL Excalibur 2000 Ätzer/Ascher ist ein effizientes und fortschrittliches Prozesswerkzeug für die Herstellung von IC-Chips. Seine Eigenschaften ermöglichen präzise, genaue und konsistente Ätz- und Ascheprozesse mit der ultimativen Flexibilität in Wafergrößen- und Substrattypen. Der Infrarotscanner und das optische Bildgebungssystem bieten eine fortschrittliche Überwachung der Ätz- und Ascheprozesse, während die integrierte Softwareplattform eine einfache Programmierung und Steuerung ermöglicht.