Gebraucht SEMITOOL Excalibur 2000 #9250097 zu verkaufen

SEMITOOL Excalibur 2000 ist ein Hochleistungsätzer und Ascher für die Halbleiterindustrie. Es bietet höchste Prozessgleichförmigkeit und niedrigste Gesamtbetriebskosten. Excalibur 2000 verfügt über eine fortschrittliche automatisierte Prozesskontrollausrüstung, die hoch optimiert ist, um Substratfehler zu minimieren, Partikelverschmutzung zu reduzieren und die Prozesskonformität sicherzustellen. Es bietet erweiterte Ätzfähigkeit mit der Fähigkeit, die Maskierung, Ätztiefe, Ätzgeschwindigkeit und Ebenheit des Substrats genau zu steuern. Es kann sowohl trockene als auch nasse Medien ätzen und ablagern und bietet unübertroffene Prozesswiederholbarkeit mit hervorragender Genauigkeit. SEMITOOL Excalibur 2000 ist mit einem dynamischen Kammerdesign ausgestattet, das eine beispiellose thermische Gleichmäßigkeit von ± 1 ° C/min entlang des gesamten Substratbereichs ergibt und konstante Prozessergebnisse gewährleistet. Es verfügt über integrierte Prozessdefinition und -steuerung, die die Flexibilität und Genauigkeit für die Produktion von Hochleistungs-Halbleitern mit hohem Durchsatz bietet. Um konsistente Ergebnisse zu gewährleisten, verwendet Excalibur 2000 überlegene hochreine Verarbeitungsgase, die für eine optimale Prozesskontrolle präzise geregelt und dosiert werden können. Es verfügt über ein modernes Kühlsystem, In-situ-Temperatur- und Drucksensoren, die in Echtzeit überwacht werden können und den Gasverlust deutlich reduzieren. Erweiterte Überwachungs- und Reporting-Tools für die Prozesssteuerung, wie ein Lifetime-Monitor für HF-Generator, ermöglichen es Benutzern, kritische Parameter zu überwachen und Prozessprobleme schnell anzugehen. Eine integrierte Stromversorgungs-Überwachungseinheit ermöglicht es Benutzern, die Ausgangsleistung des Generators kontinuierlich zu überwachen und zu warnen, wenn ein Problem auftritt. SEMITOOL Excalibur 2000 wurde entwickelt, um Produzenten zuverlässige Ergebnisse, niedrigere Betriebskosten und die Höchstleistung zu bieten. Seine fortschrittliche Rezirkulationsmaschine überwacht und reinigt die Prozesskammer und Pumpen für Partikelaufbau und Kontamination. Mit seiner Prozessgenauigkeit und Effizienz bietet Excalibur 2000 den höchsten Durchsatz pro Quadratzoll in der Branche für Ätz- und Ascherprozessschritte.