Gebraucht SEZ / LAM RESEARCH 101 #293652614 zu verkaufen

SEZ/LAM RESEARCH 101 ist eine hochpräzise Ätz-/Aschemaschine auf Waferebene, die im Halbleiterherstellungsprozess verwendet wird. Das System ist eine dreistufige, durchsatzstarke selbstreinigende Ätz-/Aschereinheit mit einem vollautomatischen Wafer-Kassetten-zu-Kassetten-Prozess. Die Einheit ist in der Lage, eine minimale Ätztiefe von 5 Angström (Å) und eine minimale Aschertiefe von 0,2 Mikron zu erzeugen und gleichzeitig konsistente und wiederholbare Ergebnisse zu liefern. Die Maschine ermöglicht das genaue und präzise Ätzen und Aschen sowohl gestapelter Wafer als auch einzelner Wafer ohne menschliches Zusammenwirken. Das Werkzeug verwendet eine Gaswelle, um die Wafer vor dem Abscheiden des Ätzgases zu blasen (es ist ideal für das Schutzschichtätzen und hochdichtes Plasmaätzen). Das Asset kann eine breite Palette von Ätz- und Ascherprofilen erzeugen, darunter isotrope, schrittweise, anisotrope, selektive und tiefätzende Profile. Es kann auch verwendet werden, um Trägheits- und Nicht-Trägheitsätzen/-aschen durchzuführen. Das Modell verwendet eine vor-/nachgelagerte N2-Reinigungsausrüstung, mit der Benutzer die Exposition reaktiver Gase gegenüber den Wafern kontrollieren können. Das System ist mit einem programmierbaren Logikregler (SPS) ausgestattet, der eine präzise Kontrolle über wichtige Prozessparameter wie Temperatur, Druck und Durchflussraten der Reaktanten ermöglicht. Die SPS ist auch in der Lage, eine Bibliothek mit bis zu 256 Waferrezepten zu speichern, die ohne Eingriff des Benutzers schnell geladen und ausgeführt werden kann. Das Gerät verfügt außerdem über einen großen LCD-Touchscreen und eine intuitive grafische Benutzeroberfläche, mit der der Bediener den Maschinenstatus überwachen und jeden Wafer während des Durchgangs durch das Gerät überprüfen kann. Dies gewährleistet mehrmals hohe Qualität und konsistente Ätz-/Ascheergebnisse. Das Tool bietet auch umfassende Diagnose- und Reporting-Funktionen, die für Benutzer sehr hilfreich sind, um Probleme mit dem Asset schnell zu analysieren und zu identifizieren.