Gebraucht SEZ / LAM RESEARCH 101 #9246714 zu verkaufen

SEZ/LAM RESEARCH 101 ist ein Ätzer/Ascher, entworfen und hergestellt von SEZ. Dabei handelt es sich um eine thermisch-chemische Bearbeitungsanlage, die darauf ausgelegt ist, Substrate mit hoher Präzision und Genauigkeit schnell und präzise zu ätzen, abzulegen und zu planarisieren. Das System basiert auf einer Inertgasatmosphäre und einer temperaturgesteuerten Plattform mit Energie-zu-Arbeit-Isolierung und -Steuerung. SEZ 101 verwendet eine Reihe von Prozessmodulen, um geätzte und ashed Komponenten zu realisieren. Dazu gehören eine Grenzflächenkammer, eine Ätz-/Aschekammer und ein Kühlmittelmodul. Das Gerät bietet eine Reihe von programmierbaren Parametern wie Temperatur, Durchfluss, Druck und Zeit. Die Temperatur wird auf vordefinierten Ebenen gehalten, um ein konsistentes Ätzen von Substraten zu ermöglichen. Die Ätz-/Aschekammer ist die Schlüsselkomponente der Maschine. Es verfügt über Mehrzonen-Luftkühlung und Temperaturgleichförmigkeit (32 ° F über 1,7 x 1,7 "), um eine gleichmäßige thermische und chemische Behandlung von Substraten zu gewährleisten. Diese Kammer ist auch mit Hochleistungs-Plasmaquelle und Abschirmung ausgestattet. Um ein gleichmäßiges Ätzen zu gewährleisten, wird zur Plasmaaktivierung eine frequenzstabilisierte HF-Quelle verwendet. Die Grenzflächenkammer dient zur Vakuumversorgung während der Substratheizung und der Luftstromregelung. Es ist mit einer Ionenquelle ausgestattet, die gleichmäßige Ätzraten gewährleistet. Das Kühlmittelmodul ist so ausgelegt, dass eine konsistente Kühlung der Ätz-/Aschekammer und des Substrats gewährleistet ist. Es ist ausgestattet, um die Temperatur auf vordefinierten Ebenen zu halten. Ein programmierbarer Gaseinlaß und -auslaß sorgt für eine gleichmäßige Gasströmung in der Prozesskammer. LAM RESEARCH 101 ist ein flexibles Ätz-/Aschewerkzeug, das mit einer Vielzahl von Substraten wie Gold, Aluminium und Silizium arbeiten kann. Mit hohen Ätzraten, ausgezeichneter Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit ist 101 eine effiziente Lösung für viele Ätz- und Ascheprozesse. Das Asset ist ideal für eine Vielzahl von Anwendungen, von der MEMS-Fertigung bis zum Prototyping.