Gebraucht SEZ / LAM RESEARCH 203 #9399002 zu verkaufen

SEZ/LAM RESEARCH 203 Asher ist ein vielseitiges Batch-Bearbeitungs-Wafer-Ätzwerkzeug. Mit einem Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) -Verfahren wurde der Asher speziell für das Ätzen und Reinigen hochtemperaturempfindlicher Materialien wie Siliciumcarbid, Galliumarsenid und Saphir entwickelt. Ideal für den Einsatz in der Halbleiterherstellung verwendet SEZ 203 eine Kombination aus Druck, Temperatur und Chemie, um das Werkstück zu reinigen, zu ätzen oder zu maskieren. Die Asher Prozesskammern werden mit einem hochwertigen Vakuum unter Druck gesetzt und anschließend erhitzt, um Verunreinigungen aus dem Prozess zu reduzieren oder zu klären. Die Durchflussmenge wird automatisch überwacht, was eine präzise Kontrolle der Ätzrate ermöglicht. Mehrere Prozessrezepte werden für einen einfachen Zugriff gespeichert und bieten konsistente Ätzergebnisse unabhängig vom Material. Auch können alle Prozessparameter einfach über das große Touch-Display angepasst werden, so dass eine schnelle Anpassung an spezifische Anforderungen möglich ist. Die fortschrittliche Diagnose des Asher maximiert Leistung und Sicherheit. Durch sein integriertes Laserinterferometer und Photodiodenarray richtet der Asher Substrate mit Nanometergenauigkeit in Röntgen- und Y-Richtung aus. Der Laser weist außerdem einen Verschmutzungsmonitor auf, der die Laserinterferometrie zur Detektion und Messung von in der Ätzkammer vorhandenen Verunreinigungen nutzt. Dies gewährleistet Sicherheit und Qualität des Prozesses bei gleichzeitiger Minimierung von Schrott. Der Asher hat auch eine Reihe von Umweltfunktionen. Es entspricht dem UL Green Labelling System Standard für Gefahrstoffe, d.h. es ist frei von gefährlichen Stoffen, wie Ozon und anderen flüchtigen organischen Verbindungen (VOCs). Darüber hinaus ist es mit einer Sicherheitstür ausgestattet, die eine unerwartete Inbetriebnahme oder Prozessunterbrechung verhindert. Der Asher ist auch entworfen, um Geräusche zu minimieren, halten akustische Pegel auf ein Minimum. Zusammenfassend ist LAM RESEARCH 203 Asher ein hocheffizienter, kostengünstiger, chargenverarbeitender Ätzer, der sich für hochtemperaturempfindliche Materialien eignet. Seine automatisierten Prozessrezepte und fortschrittliche Diagnostik mit Nanometergenauigkeit sorgen für konsistente Ergebnisse, während seine Umweltkontrollen dazu beitragen, dass es ein sicheres Gerät ist.