Gebraucht SEZ / LAM RESEARCH 223 #293775128 zu verkaufen

SEZ/LAM RESEARCH 223 ist eine fortschrittliche Ätz- und Ascheausrüstung für die Hochleistungs-Waferbearbeitung. Das System ist als flexible Lösung für Asche- und Ätzanwendungen konzipiert, mit dem Ziel, die Zykluszeiten deutlich zu senken und eine überlegene Prozesssteuerung zu bieten. Es verfügt über einen eigenständigen oder automatisierten Betrieb sowohl für die komplette Waferbearbeitung als auch für partielle Waferbearbeitungsanwendungen mit einer Wafer-zu-Wafer-Konsistenz von weniger als 5%. Darüber hinaus bietet das Gerät eine hervorragende Prozessskalierbarkeit zwischen Vollwafer- und Teilwaferätz- und Ascheprozessen. SEZ 223 beinhaltet eine effiziente, skalierbare Prozesskammer mit einer fortschrittlichen Computer Automated Process Control (CAPC) Maschine zur vollständigen Wafer- oder Teilwaferprozesssteuerung. Es wurde entwickelt, um hochgenaue und wiederholbare Ätz- und Ascheergebnisse ohne Eingriff des Bedieners zu liefern. Das Kammerdesign umfasst eine 200mm Scheibe mit zwei NO FAB® schwimmenden Tragarmen zur optimalen Bearbeitung kleinerer Substrate. Es hat ein Kammervolumen von 3300 Litern, mit einem einstellbaren Gasverteilungswerkzeug für in situ Oxidationsschutz und abstimmbare Strömungsverhältnisse für Ätz- und Aschesteuerung. LAM RESEARCH 223 umfasst einen erweiterten geschlossenen Kreislauf mit einer Echtzeit-Wafer-Temperaturüberwachung und einem MFC durch Druckkreislauf-Steuermodul. Dieses Modell dient der genauen Kontrolle der Abscheidung und Ätzrate, um konsistente und wiederholbare Ergebnisse zu erzielen. Darüber hinaus ist die Anlage mit einem eigenen, integrierten Reinigungssystem für die komplette Ätz-/Aschereinigung zwischen einzelnen Waferprozessen ausgestattet. Diese Einheit beinhaltet einen zweistufigen Ansatz, der eine DI-Wasserspülung, dann eine stickstoffgerichtete Spülung und ein Plasma umfasst, um eine vollständige Reinigung der Kammer zu gewährleisten. 223 enthält auch eine CORE Automation® Software-Suite, um genaue Prozessparametereinstellungen und die Einhaltung sicherzustellen. Diese vielseitige Software ermöglicht es dem Benutzer, die Prozesseinrichtung, -ausführung, -übertragung und -verfolgung zu automatisieren. Es bietet auch eine zuverlässige Stapelverarbeitung und verteilt die Arbeitslast auf mehrere Systeme. Insgesamt ist SEZ/LAMS RESEARCH SEZ/LAM RESEARCH 223 eine fortschrittliche Ätz- und Aschemaschine, die entwickelt wurde, um Zykluszeiten zu minimieren, die Prozesskontrolle und Konsistenz zu verbessern und zuverlässige Ergebnisse zu erzielen. Mit seinen umfassenden und fortschrittlichen Funktionen bietet dieses Tool zuverlässige Ätz-/Aschelösungen für vielfältige Anwendungen.