Gebraucht SEZ / LAM RESEARCH 223 #293814668 zu verkaufen

SEZ/LAM RESEARCH 223 ist ein anspruchsvoller Ätzer/Ascher für dichte, hochpräzise dielektrische Isolationsmerkmale. Es ist für den industriellen Einsatz konzipiert und kann in einer Vielzahl von Produktionsprozessen wie MEMS, RF und CMOS eingesetzt werden. Das Tool nutzt sowohl Electron Cyclotron Resonance (ECR) als auch Inductively Coupled Plasma (ICP) Technologien und bietet mehrere Ätz- und Aschemöglichkeiten. SEZ 223 ermöglicht eine breite Palette von Prozesssteuerungsfunktionen und bietet Anwendern die Flexibilität, ihre Prozessanforderungen zu erfüllen. LAM RESEARCH 223 verfügt über eine Ladeschleuse und Pumpstation, die eine schnelle Verarbeitung mehrerer Wafer ermöglicht, eine effiziente Produktion ermöglicht und den Durchsatz verbessert. Das fortschrittliche Prozessrezept-Steuerungssystem des Tools (das mehrere Endpunktparameter und umfangreiche Prozessprotokollaufzeichnungen umfasst) kombiniert mit seinen integrierten Formatgrößen- und Driftkompensationsalgorithmen garantieren ein einheitliches Ätzen über mehrere Wafer hinweg. Darüber hinaus behält das Werkzeug eine hervorragende Wiederholbarkeit während der Produktion bei und bietet sehr kurze Prozesszykluszeiten, steigende Produktivität und sinkende Produktionskosten. 223 verwendet eine ICP-Quelle für hohe Selektivität und niedrige Schadensätzung, und sein ECR-Quellmodul bietet höhere Ätzraten, was es ideal für tiefes Feature-Ätzen macht. Die erweiterten ECR-Steueralgorithmen des Werkzeugs können ein sehr gleichmäßiges Ätzen über ein breites Prozessfenster gewährleisten. Die Druck- und Gasströmungssteuerungsfähigkeiten des Werkzeugs sorgen zudem dafür, dass nachfolgende Prozessschritte konsistent und zuverlässig sind. SEZ/LAM RESEARCH 223 bietet auch einzigartige RF-Ätz-/Aschemodi, die extrem fortschrittliche Aschesteuerparameter sowie materialspezifische Ätzfähigkeit bieten. Der Fokus und die kapazitiv gekoppelten Plasmaquellen ermöglichen ein schnelles, qualitativ hochwertiges Ätzen und Aschen, ohne sekundäre ionisierte Spezies zu erzeugen. Das Werkzeug ermöglicht sogar den Einsatz unterschiedlicher Temperaturen, von aktiv gekühltem bis beschleunigtem metallischem Ätzen. Insgesamt ist SEZ 223 ein zuverlässiger und fortschrittlicher Ätzer/Ascher. Seine ausgeklügelten Technologien, sein breites Spektrum an Prozesssteuerungsfähigkeiten und seine Produktionsautomatisierungsfunktionen machen es zu einer idealen Wahl für die industrielle Produktion, insbesondere für enge, hochpräzise dielektrische Isolationsmerkmale.