Gebraucht SEZ / LAM RESEARCH 300 #9211251 zu verkaufen

SEZ / LAM RESEARCH 300
ID: 9211251
Single wafer etcher.
SEZ/LAM RESEARCH 300 ist ein Top-of-the-line, kompromissloser, trockener Ätzer (auch als Ascher bekannt). Für Präzision und Geschwindigkeit gebaut, ist es in der Lage, hochpräzises, schnelles Ätzen von Metallen und Isoliermaterial auf einer Vielzahl von Substraten durchzuführen. Dieses Top-of-the-Line-Modell ist für die Verarbeitung mit hohem Durchsatz für volle Wafergrößen (bis zu 12 Zoll) für die meisten Metalle und Isoliermaterialien konzipiert. Dieses System ist auf Prozesskonsistenz und Wiederholbarkeit ausgelegt. Das SEZ 300 verfügt über eine erweiterte Steuerungskonsole mit Echtzeit-Prozessparameterüberwachung. Es hat auch verschiedene Optionen für Automatisierungs- und Aufzeichnungsfunktionen, die beim Zeitvergleich helfen. Es ermöglicht Benutzern auch, ihre eigenen Rezepte zu entwerfen, um sich für ihre eigenen Ätzprozesse zu bewerben. Das Herzstück von SEZ/LAMLAM RESEARCH 300 ist seine versiegelte, pechgesetzte Außenbeschichtung - eine fortschrittliche Kombination aus Silikonen, Kunststoffen und Keramik, die die Einheit frei von Staub und Verunreinigungen hält und ihre Korrosionsschutzpanzerung verstärkt, um die Innenkomponenten vor korrosiven Bedrohungen zu schützen. Der Ätzer verfügt über eine Plasmakammer mit einem optimierten Übergang von kleiner Plasmaquelle zu Prozessfläche maximiert Ätzeffizienz und Effektivität. 300 kommt auch mit einem Kaltwand-Wand-Rohr-Substrat-Ladesystem mit Vakuum-verriegelten Sicherheitstür, und eine geschlossene Low-Partikel-Verarbeitungsumgebung. Die Prozesskammer ist ergonomisch auf verschiedene Ätzraten und Druckniveaus nach Kundenwunsch abgestimmt. Es ist sowohl für den Einsatz mit Einzelwafer als auch für chargengroße Substrate konzipiert. Die Kammer ist superaktiv und kann in Sekunden be- und entladen werden, um den Durchsatz und die Wiederholbarkeit zu verbessern. Als Ätzer bietet SEZ/LAM RESEARCH 300 Strategien wie Step Etching und reaktives Ionenätzen an. Als Ergänzung zu seinen Ätzfähigkeiten bietet SEZ 300 auch zusätzliche Dienstleistungen wie Schichten, Planarisieren, Stollen und Backlapping an. LAM RESEARCH 300 verfügt auch über eine Vielzahl von Prozessparametern zur Einstellung von Abscheidung, Spannung, Geschwindigkeit, Temperatur und Oberflächenrauhigkeit für optimale Bedingungen für verschiedene Materialien. Abschließend ist 300 ein Top-of-the-Line-Ätzer/Ascher, der für die Verarbeitung mit hohem Durchsatz und minimalen Ausfallzeiten konzipiert ist. Es ist ein zuverlässiges, präzises und wiederholbares Werkzeug, das für das präzise Ätzen der meisten Metalle und Isoliermaterialien auf einer Vielzahl von Substraten schnell und präzise entwickelt wurde. Die fortschrittlichen Funktionen, die Automatisierungsfunktionen und das ergonomische Design machen es zum perfekten Werkzeug für die anspruchsvollsten Anwendungen.
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