Gebraucht SEZ / LAM RESEARCH 304 #293622221 zu verkaufen

SEZ/LAM RESEARCH 304 ist eine serienmäßige Präzisions-Nassätz- und Ascheausrüstung. Es wurde entwickelt, um eine Kombination von schnellen, sicheren und genauen Rezepten für das Präzisionsätzen einer Vielzahl von Substraten, Halbleiterscheiben, Metallen und anderen Materialien bereitzustellen. SEZ 304 ist mit einer Trimline-Plattform ausgestattet, die bis zu vier großformatige Substrate (typische 6 „und 8“ Substrate) und bis zu vier Racks Substrate in den breiteren Formaten (10 „und 12“) aufnehmen kann. Die Plattform verfügt über eine breite Palette von Prozesskammergrößen und Ätzraten, die eine volle Variabilität der Bearbeitungszeiten und Ätzraten ermöglichen. LAM RESEARCH 304 verfügt auch über eine breite Palette von programmierbaren Rezepten für Ätz- und Ascheraten, die reproduzierbare und zuverlässige Chargen ermöglichen. 304 verfügt über ein eingebautes Gaspanel, das eine vollständige Kontrolle der Atmosphäre der Prozesskammer ermöglicht. Darüber hinaus verfügt SEZ/LAM RESEARCH 304 über ein integriertes Clean-in-Place (CIP) -System, um eine schnelle und effiziente Reinigung der Ätz-/Aschekammer und der Prozessleitungen zu ermöglichen. Das Steuergerät von SEZ 304 bietet eine umfassende Prozessautomatisierungslösung und ermöglicht die Benutzerprogrammierung und -steuerung verschiedener Prozessparameter. Die intuitive und benutzerfreundliche grafische Oberfläche von LAM RESEARCH 304 ermöglicht es dem Bediener, Ätz-/Ascheprozesse schnell und einfach zu programmieren und zu überwachen und ermöglicht die On-the-Fly-Fehlerbehebung und -Überwachung. 304 verfügt auch über eine breite Palette von Sicherheitsmerkmalen, einschließlich zwei Ebenen von Vakuumverriegelungen, um einen sicheren Betrieb zu gewährleisten, einen Druckmonitor zur Überwachung des Kammerdrucks, einen Temperaturmonitor zur Gewährleistung einer angemessenen Substratheizung und -kühlung und einen Prozessmonitor, um eine ordnungsgemäße Ätzrate und Prozesszeiten sicherzustellen. SEZ/LAM RESEARCH 304 hat auch eine Vielzahl von anwenderwählbaren Alarmeinstellungen, so dass die Betreiber die Alarmeinstellungen auf ihre spezifischen Prozessanforderungen anpassen können. Zusätzlich enthält die SEZ 304 ein quarzfreies Ätzverfahren, das das Einbringen von metallischen Elementen in die Ätzkammer eliminiert und dadurch die Gefahr einer Kontamination oder Beschädigung von Substraten reduziert. Zusammenfassend ist LAM RESEARCH 304 eine zuverlässige und vielseitige Präzisions-Nassätz- und Aschemaschine, die Anwendern präzise Ätz- und Ascheraten und eine umfassende Prozessautomatisierungslösung bietet. 304 bietet eine breite Palette von Prozesskammergrößen und Ätzraten, eine intuitive grafische Benutzeroberfläche und integrierte Sicherheitsfunktionen, um eine sichere Bedienung und Prozessintegrität zu gewährleisten. Mit seiner robusten Leistung und Zuverlässigkeit eignet sich SEZ/LAM RESEARCH 304 für industrielle Forschungs-, Produktions- und Bildungsanwendungen.