Gebraucht SEZ / LAM RESEARCH 304 #293652616 zu verkaufen

SEZ / LAM RESEARCH 304
ID: 293652616
Wafergröße: 8"-12"
Spin processor, 8"-12".
SEZ/LAM RESEARCH 304 ist eine Plasmaätz-/Aschemaschine zur Herstellung hochwertiger strukturierter Mikrostrukturen mit hohen Durchsatzraten. Es ist in der Lage, Substrate in verschiedenen Materialien wie Silizium, Glas, Metalle und Nitrid zu ätzen und hat ein breites Anwendungsspektrum in der Mikroelektronikindustrie. Seine Eigenschaften und Fähigkeiten liefern höchste Qualität und wiederholbare Ergebnisse für die Herstellung von Produkten. SEZ 304 verfügt über ein automatisiertes Robotersystem, das eine einfache Handhabung des Substrats ermöglicht. Dieser automatisierte Prozess ermöglicht eine optimierte Belichtungszeit, was zu wiederholbaren, genauen Ätzergebnissen führt. Das Gerät bietet auch ein hohes Maß an Genauigkeit und Kontrolle, mit der Fähigkeit, die Ätzrate zu steuern, während Gleichmäßigkeit über das Substrat. Die Maschine ist auch in der Lage, Muster zu erzeugen, die frei von Artefakten oder Ablaufeffekten sind. Das Tool ist auch mit einer fortschrittlichen Plasmaquelle ausgestattet, die eine hohe Leistung und Genauigkeit bietet. Diese fortgeschrittene Quelle erzeugt hochdichtes Plasma, das dann durch die Ätzkammer auf das Substrat geleitet wird. Dieses hochdichte Plasma führt zu optimierten Ätzraten, die in qualitativ hochwertigere Ätzstrukturen übersetzen. LAM RESEARCH 304 verfügt zudem über eine Mehrzonen-Prozesskammer, die ein sequentielles Ätzen mehrerer Substrate in verschiedenen Materialien ermöglicht. Dieses Asset ermöglicht die Kontrolle über die Ätzprozessparameter. Das Modell verfügt auch über eine anspruchsvolle Gas-Lieferung Ausrüstung, die verwendet wird, um die Ätzrate zu steuern, und hat die Fähigkeit, verschiedene Ätzchemie zu verarbeiten. 304 ist auch mit fortschrittlicher Diagnose ausgestattet, einschließlich eines integrierten Edge Imaging Profilers, der eine Submikron-Auflösung der Kante des gemusterten Ätzprofils bereitstellt. Dieses System bietet auch ein In-situ-Monitoring, das die Optimierung von Prozessparametern ermöglicht, die höchste Qualitätsergebnisse gewährleisten. SEZ/LAM RESEARCH 304 bietet die Fähigkeit, qualitativ hochwertige und wiederholbare geätzte Mikrostrukturen mit hohen Durchsatzraten herzustellen, was zu verbesserten Produktionsdurchsatzraten und letztlich zu höheren Effizienzen in Produktionslinien führt. Seine Eigenschaften und Fähigkeiten liefern höchste Qualität und wiederholbare Ergebnisse für die Herstellung von Produkten.
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