Gebraucht SEZ / LAM RESEARCH 304 #9224043 zu verkaufen

SEZ/LAM RESEARCH 304 ist ein Ascher/Ätzer-Gerät, ideal für die Hochleistungs-Halbleiterverarbeitung. Es verfügt über fortschrittliche LAMPAR™-Technologie, die ein hohes Maß an Leistung, Produktivität, Treue und Einheitlichkeit bietet. SEZ 304 integriert Ätz-, Abscheidungs- und Resist-/dielektrische Strippverfahren unter Verwendung von LAM-spezifischen Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) und Ätztechnologien. Das System verfügt über einen 17-Zoll-Wegwerf-Suszeptor und eine manuell verstellbare Quarzleiter. Es verfügt auch über eine obere Vakuumeinheit, die präzise und wiederholbare Ätzprozesse ermöglicht. Darüber hinaus bietet LAM RESEARCH 304 eine präzise zeitbasierte Prozesssteuerungsmaschine mit einer Wiederholbarkeit von ± 0,001 ° C/min. Dies ist für kritische Ätzanwendungen unerlässlich, um Produktqualität und Zuverlässigkeit zu gewährleisten. 304 enthält ein Hochtemperatur-Gleichmäßigkeitspaket, das eine Präzisionssteuerung sowohl des lokalen als auch des globalen Temperaturprofils bietet. Dieses Merkmal erzeugt eine gleichmäßige, gleichmäßige Dicke und Gleichmäßigkeit über das Substrat, was zu einer besseren Geräteleistung führt. SEZ/LAM RESEARCH 304 ist auch mit einem fortschrittlichen LAMResearch™ Process Center für die komplette Prozesssteuerung und Datenprotokollierung ausgestattet. Dies ermöglicht es Benutzern, die Kammerbedingungen zu überwachen, um die Werkzeugleistung zu maximieren, den Fertigungsertrag zu maximieren und die Prozesskontrolle zu verbessern. SEZ 304 nutzt fortschrittliche LAMPAR™-Technologie, um ein ultrahochauflösendes Profil und eine einheitliche Ätzprozesse bereitzustellen. Dies bietet die beste Substratätzqualität und Reproduzierbarkeit von Ätzergebnissen. Darüber hinaus nutzt LAM RESEARCH 304 ein proprietäres LAM-spezifisches Verfahren, das von einem hochmodernen SPS-Controller angetrieben wird. Dieses Asset hat die Fähigkeit, Bogenereignisse zu erkennen und zu verhindern, die Wahrscheinlichkeit von Drift zu minimieren und im Laufe der Zeit sehr stabil zu bleiben. Das LAM 304 verfügt über eine bewährte Geschichte erfolgreicher Ätzanwendungen in der Halbleiterindustrie und eignet sich gut für die Massenproduktion sowie Forschung und Entwicklung. Darüber hinaus ist SEZ/LAM RESEARCH 304 einfach zu bedienen und einzustellen und kann mit einer Vielzahl von Chemikalien und Substraten arbeiten. Die fortschrittliche LAMPAR™-Technologie, das fortschrittliche Prozesszentrum und das Hochtemperatur-Uniformitätspaket machen SEZ 304 zu einem idealen Werkzeug für die Halbleiterherstellung.